目前，小型精密機械加工方法主要有兩類：一類是 在傳統(tǒng)切削加工基礎上發(fā)展而來的以塑變剪切去除材料為特征的微細切削技術，包括微細車削、微細鉆削、微細立銑削、微細飛切、微細沖壓加工、微細磨料流噴射加工等；另一類是 基于特殊加工機理的特種加工方法，包括微細電加工、高能束加工、半導體材料微細加工技術、生長型微細加工等。
(1)微細切削工藝
微細切削是 指在精密及超精密切削機床上，借助高分辨率的實體工具，利用機械力的作用對工件材料直接進行去除的加工技術。其中微細車削、微細銑削加工是 其角 常用的工藝方法。
在機械制造加工行業(yè)中，使用角 廣泛的一種加工方式就是 車削加工，微細車削也屬于車削的一種，車削加工的普遍規(guī)律也同樣適用于微細車削，除了具有普通車削的特點以外，在加工制造微小型管套、微小型軸等零件方面有其的優(yōu)點。此外在切削參數(shù)的選擇上也有自己的特點，如切削速度，實際選擇的切削速度常根據(jù)所用機床的動特性和切削系統(tǒng)的動特性選取，即選擇角 小的轉速，因為轉速越高，機床振動越大，對零件表面質量的影響越大。為了提高零件表面質量，微細車削一般都采用較小的進給量和背吃刀量。
銑削加工是 角 具柔性的切削工藝，微細銑削是 一種制造多種材料微細部件和復雜三維結構的通用方法，而且己經(jīng)成為滿足微小型三維復雜形狀零件和材料多樣性加工的有效途徑，同時也是 實現(xiàn)微米級和中間尺度機械設備及零部件的主要制造技術之一。微細銑削加工進行微小型零件的加工時，靈活性和速度都較大，具有加工成本低、生產(chǎn)效率和相對精度高、相應基礎技術的研究比較成熟等特點。
(2)微細特種加工工藝
微細特種加工工藝主要包括微細電火花加工、微細高能束加工、光刻加工等。
微細電火花加工的原理同普通電火花加工并無本質區(qū)別，其精密數(shù)控機械加工的表面質量主要取決于電蝕凹坑的大小和深度，即單個放電脈沖的能量，而其加工精度則與電極損耗、伺服穩(wěn)定性等因素密切相關。
微細高能束加工包含電子束微細加工和離子束微細加工。電子束加工是 在真空條件下，利用聚焦后的能量密度極高的電子束，以極高的速度沖擊到工件表面極小的面積上，在極短的時間(幾分之一微秒)內，其能量的大部分轉變?yōu)闊崮埽贡粵_擊的工件材料達到幾千攝氏度以上的高溫，從而使材料的局部熔化和汽化，而實現(xiàn)加工的目的。電子束加工可用于打孔、切割、蝕刻、焊接、熱處理和曝光加工等。由于電子束能夠極微細的聚焦，甚至能聚焦到0.1μm，因此成為一種精密微細的加工方法。
離子束加工是 在真空條件下，將由離子源產(chǎn)生的離子經(jīng)過電場加速，獲得具有一定速度的離子投射到材料表面，是 一種對材料進行成形和表面改性的加工方法。由于離子束加工應力、變形極小，適合于各種材料的微細加工，并且加工質量高。
相比于其他微細加工的方法，微細切削具有較高的加工精度、可加工材料豐富、加工柔性高、能加工復雜的三維立體結構等眾多優(yōu)點，與此同時，隨著微細切削相關技術的研究和發(fā)展，微細切削己經(jīng)成為小型精密零件制造的主要方法。
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