據(jù)中國(guó)電子專(zhuān)用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)統(tǒng)計(jì)的數(shù)據(jù)，2009年我國(guó)電子專(zhuān)用設(shè)備產(chǎn)業(yè)銷(xiāo)售收入僅占我國(guó)電子信息產(chǎn)業(yè)總銷(xiāo)售收入的2%，這和我國(guó)為電子信息產(chǎn)品生產(chǎn)大國(guó)是不相稱(chēng)的，特別是集成電路設(shè)備、平板顯示器設(shè)備、發(fā)光二極管設(shè)備和表面貼裝設(shè)備中的關(guān)鍵設(shè)備大部分仍然需要依賴(lài)進(jìn)口。因此，國(guó)內(nèi)設(shè)備廠商應(yīng)該利用自己在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域積累的經(jīng)驗(yàn)，積極涉足目前新興產(chǎn)業(yè)，在光伏、LED、LCD等領(lǐng)域，緊跟行業(yè)形勢(shì)，積極開(kāi)發(fā)自動(dòng)化、節(jié)能、高效的設(shè)備，提高產(chǎn)品技術(shù)含量，進(jìn)一步滿(mǎn)足市場(chǎng)需求。

    我國(guó)光伏設(shè)備企業(yè)已基本具備太陽(yáng)能電池制造整線(xiàn)裝備能力。而在大規(guī)模生產(chǎn)中，產(chǎn)品穩(wěn)定性非常重要，真正要達(dá)到較高的光電轉(zhuǎn)換率，對(duì)于硅材料質(zhì)量以及工藝技術(shù)水平要求都很高，而設(shè)備的可靠性、自動(dòng)化程度又直接影響企業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)力，因此今后光伏設(shè)備將以提高電池轉(zhuǎn)換效率、降低生產(chǎn)成本、節(jié)能環(huán)保為發(fā)展目標(biāo)。設(shè)備企業(yè)要加強(qiáng)新工藝、新技術(shù)的研制開(kāi)發(fā)，不斷提升設(shè)備的適應(yīng)性，開(kāi)展技術(shù)創(chuàng)新，提高設(shè)備工藝物化，從設(shè)備和工藝兩方面來(lái)提高轉(zhuǎn)換效率、降低光伏成本。

    在LED生產(chǎn)過(guò)程中需要很多設(shè)備，從藍(lán)寶石襯底加工用的單晶爐、多線(xiàn)切割、研磨拋光等設(shè)備，到MOCVD(金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相淀積)、退火爐等設(shè)備，再到與IC芯片工藝相類(lèi)似的設(shè)備，如光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、清洗機(jī)、蒸發(fā)鍍膜等，最后到封裝用的固晶機(jī)、金絲/鋁絲球焊機(jī)、分選機(jī)等等，種類(lèi)繁多。其中，MOCVD、等離子刻蝕機(jī)等是技術(shù)含量很高的設(shè)備。在所有的LED設(shè)備中，沒(méi)有哪一種設(shè)備像MOCVD一樣，在整個(gè)LED生產(chǎn)設(shè)備投資中占如此大的比重。國(guó)產(chǎn)LED設(shè)備廠商必須從MOCVD設(shè)備開(kāi)始取得突破，才能逐步向前道和后道工藝設(shè)備不斷擴(kuò)展，最終實(shí)現(xiàn)整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈的全部設(shè)備國(guó)產(chǎn)化。MOCVD設(shè)備的技術(shù)門(mén)檻很高，需要克服很多困難，投入大量的人力、物力、財(cái)力，整合各種優(yōu)勢(shì)資源。此外，國(guó)產(chǎn)設(shè)備要想在LED產(chǎn)業(yè)大發(fā)展過(guò)程中有所作為，一定要在穩(wěn)定性和一致性上做好文章。

    政府應(yīng)積極倡導(dǎo)建立技術(shù)創(chuàng)新基金和技術(shù)創(chuàng)新風(fēng)險(xiǎn)投資基金，促進(jìn)和推動(dòng)電子專(zhuān)用設(shè)備企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新快速發(fā)展。國(guó)家應(yīng)進(jìn)一步引導(dǎo)整合行業(yè)，加大投入，特別是把解決當(dāng)前急需與國(guó)際化結(jié)合起來(lái)，把解決高中低端技術(shù)結(jié)合起來(lái)布局。在國(guó)家的扶持下，企業(yè)間應(yīng)加快建立專(zhuān)用設(shè)備重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，走設(shè)備與工藝研究、開(kāi)發(fā)相結(jié)合的道路。

    中國(guó)電科第四十八研究所所長(zhǎng)唐景庭

    國(guó)產(chǎn)設(shè)備更需支持應(yīng)用政策

    對(duì)電子專(zhuān)用設(shè)備行業(yè)來(lái)說(shuō)，“十二五”期間應(yīng)該重點(diǎn)在太陽(yáng)能光伏設(shè)備、LED設(shè)備和集成電路設(shè)備領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)突破。從工作思路上看，國(guó)家在政策上要給予設(shè)備行業(yè)實(shí)實(shí)在在的支持。在政策支持方面，韓國(guó)等國(guó)家和地區(qū)都有很好的可借鑒的經(jīng)驗(yàn)。對(duì)國(guó)內(nèi)的設(shè)備制造企業(yè)來(lái)說(shuō)，很多企業(yè)具備了一定發(fā)展基礎(chǔ)和資金實(shí)力，已經(jīng)跨過(guò)單純依靠資金支持的、少量的原始積累的階段，資金的支持已經(jīng)變得不那么重要，設(shè)備研發(fā)資金的投入將轉(zhuǎn)向以企業(yè)自主投入為主。企業(yè)現(xiàn)在最缺的是支持應(yīng)用的政策。

    由于設(shè)備與工藝密不可分，而且不是所有企業(yè)都有能力建設(shè)大生產(chǎn)線(xiàn)，因此要把首臺(tái)使用的政策落到實(shí)處，把資金支持和首臺(tái)使用政策結(jié)合起來(lái)。

    對(duì)于48所而言，我們一下步將圍繞現(xiàn)有光伏設(shè)備提高自動(dòng)化程度，建立智能的而不是粗放的太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線(xiàn)；今年將投入1.6億元集中把MOCVD設(shè)備開(kāi)發(fā)出來(lái)并延伸出自己的LED產(chǎn)業(yè)鏈和產(chǎn)業(yè)集群；IC設(shè)備領(lǐng)域要圍繞離子注入機(jī)進(jìn)一步提高水平，3年之內(nèi)將投建自己的集成電路生產(chǎn)線(xiàn)。