無塵車間也叫潔凈廠房、潔凈室(Clean Room)、無塵室，是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
一 清潔方法
無塵車間也叫潔凈廠房、潔凈室(CleanRoom)、無塵室，是指將一定空間范圍內(nèi)空氣中的微粒子、有害氣體、細菌等污染物排除，并將室內(nèi)的溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度等控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設計的房間。即不論外在空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能具有維持原先所設定要求的潔凈度、溫濕度及壓力等的特性。
無塵車間是電子廠、醫(yī)藥行業(yè)等不可或缺的重要工作場所，所以在對其進行清潔工作時應該嚴格按照以下流程進行：
(1)、更換好專用防靜電服，戴好帽子、口罩，經(jīng)風浴吸塵通道除塵后，進入潔凈室。
(2)、準備好清潔工具及用品并放置在規(guī)定地點后，開始清潔工作。
(3) 撿拾地面垃圾，按生產(chǎn)線排列次序由里向外逐一進行。
(4) 按時傾倒清運垃圾桶、垃圾箱內(nèi)垃圾，并進行檢查，按規(guī)定嚴格分類后，經(jīng)生產(chǎn)線管理員或保安檢查后 運送到指定的垃圾房內(nèi)分類放置。
(5) 由上向下使用潔凈紙或無塵布清潔室內(nèi)玻璃、墻面、貨架等。
(6) 使用潔凈塵推由里向外小心進行地面推塵、保潔。地面有垃圾、污跡、水跡等及時用無塵布清潔干凈。
(7) 利用生產(chǎn)線員工休息就餐時間對生產(chǎn)線、工作臺下、坐椅下地面進行清理。
(8) 定期清潔天花板、空調(diào)出風口、頂燈隔罩、高架地板下,清潔程序和使用的材料必須申請廠務部批準，并利用節(jié)假日及休工間隙按計劃進行。
(9) 潔凈室地面打蠟需嚴格按計劃及清潔程序進行，必須使用防靜電蠟。
(10) 清潔工作完成后需將所有清潔用品收到指定清潔間，與普通工具區(qū)別存放，避免交叉污染，整齊擺放，不得隨意亂放在潔凈室內(nèi)。
對潔凈室進行清潔工作時還應注意頭罩、手套等不得重復利用，不允許有私人物品，如大衣、帽子、錢包、鑰匙等帶入潔凈室內(nèi)等等，工作人員要嚴格依照流程進行操作。
二 清潔注意事項
在清潔無塵車間時，一定要注意以下內(nèi)容：
(1)清潔無塵車間內(nèi)的墻時應使用潔凈室無塵布;
(2)用90%去離子水和10%的異丙醇配置清潔劑;
(3)使用已獲批準的無塵車間專用去污劑;
(4)每天都要檢查車間和整備間的垃圾箱，并及時清走。
(5)每塊地板都要吸塵。每次交接班時，都應在地圖上標明工作完成情況，例如在哪結(jié)束從哪開始。
(6)清潔無塵車間的地面應使用專用拖把。
(7)在無塵車間里吸塵應使用帶有高效空氣過濾器的專用真空吸塵器。
(8)所有的門都需要檢查并擦干
(9)吸完地以后再擦地。一周擦一次墻面。
(10)架空地板下也要吸塵及擦拭。
(11)三個月擦一次架空地板底下的柱子和支撐柱。
(12)工作時一定要記住，永遠是由上往下擦，從離門最遠的地方向門的方向擦。
三 清潔管理程序
1、無塵車間管理的目的
半導體產(chǎn)品生產(chǎn)過程對車間有明確的潔凈要求，為了滿足生產(chǎn)工藝需要、保證產(chǎn)品質(zhì)量、安全生產(chǎn)，必須對潔凈室的環(huán)境、人員、物料、設備、生產(chǎn)過程等進行控制。
2、無塵車間管理的原則
.進入潔凈室的管理，包括對潔凈室工作人員進入、物料進入、各類設備的搬入以及相關(guān)的設備、管線的維護管理，應做到不得將微粒、微生物帶入潔凈室。
.操作管理技術(shù)，對潔凈室內(nèi)人員用潔凈工作服的制作、穿著和清洗;操作人員的移動和動作;室內(nèi)設備及裝修材料的選擇和清掃、滅茵等，盡可能地減少、防止?jié)崈羰覂?nèi)塵粒、微生物的產(chǎn)生、滯留、繁殖等。
.嚴格各類設備、設施的維護管理，制定相應的操作規(guī)程，保證各類設備、設施按要求正常運轉(zhuǎn)，包括
凈化空調(diào)系統(tǒng)、各類水氣電系統(tǒng)、生產(chǎn)工藝設備和工器具(工裝夾具)等。以確保產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求和空氣潔凈度等級。
.清掃、滅菌管理，對潔凈室內(nèi)的各類設備、設施的清掃、滅茵以及方法、周期和檢查作明確的規(guī)定，防止、捎除潔凈室內(nèi)塵粒、微生物的產(chǎn)生、滯留、繁殖。
.潔凈室環(huán)境控制的內(nèi)容包括：空氣凈化、潔凈建筑、與產(chǎn)品直接接觸的水或氣體或化學品和生產(chǎn)設備、工器具等的污染物控制以及微振動、噪聲、靜電的控制、防止等。
3、潔凈車間清潔操作程序
具體操作方法
A 用伸縮桿配合去塵布，自上而下，進行墻體清潔，對污染較重的局部用去塵布沾取少量純防靜電清潔劑擦 ，用去塵布揩拭干凈。
B 用伸縮桿不方便的局部，應用梯子按同上的操作方法清潔墻面(如柜子的上方)。
C 墻面清潔完畢后，用吸塵器加軟管吸取車間地面的粉塵，吸塵器應置車間的走廊上，軟管進車間，吸塵扒頭應從左到右，先遠后近的區(qū)域進行吸塵，吸塵的區(qū)域不能有間隔，以免漏吸(換鞋套)。
D 吸塵完畢后，用塵推按照吸塵的操作方法進行，局部污染較重的地方應用去塵布沾取少量純防靜電去塵劑，用濕去塵布清潔，然后用干防靜電去塵布揩干。
E 門窗內(nèi)側(cè)、柜子等附件的清潔用去塵布配合防靜電清潔劑先上后下進行清理。
F 整理工具，定期將吸塵器塵袋更換(地點：車間外)。
G 車間內(nèi)須回收的廢料放置在防靜電車上，從車間西門運至成品庫門口(通知外圍保潔員接應)，并分類集中至成品庫內(nèi)。
H 車間垃圾具體清理程序見后附文件。
備注:以上所用工具及耗材均應符合要求規(guī)定。
4、潔凈車間走廊操作程序
具體操作方法：
A 用伸縮桿配合去塵布，自上而下，由左向右，進行墻體清潔，對污染較重的局部用純防靜電清潔劑，用去塵布揩拭干凈。
B 用伸縮桿不方便的局部，應用梯子按同上的操作方法清潔墻面;對于石膏墻墻體用吸塵器自上而下吸取浮塵。
C 用去潮塵布配合防靜電清潔劑先上后下，由左至右進行清理。
D 用無塵布由上側(cè)、外側(cè)及內(nèi)面全部擦拭干凈，整理好消防設備并檢查有無損壞，完好后把門關(guān)閉;
E 用防靜電塵推由一側(cè)，依次推塵清潔。
打蠟程序 用起蠟水先行起蠟，用吸水機吸凈殘蠟，用清潔拖布脫水后拖凈地面，等地面徹底風干，再打防靜電地板蠟。
備注:以上所用工具及耗材均應符合公司要求規(guī)定。正在清潔的區(qū)域應設置標志牌，且清潔工作不得與威世員工的正常工作沖突。
5、地面打蠟的方法和程序
需要準備的機器和工具、清潔劑：洗地機;吸塵吸水機;拋光機;大面積作業(yè)需配備自動洗地機、拖把、蠟拖、拖把扭干器、水推、除蠟劑、中性多功能清潔劑、除蠟墊(黑色)、清潔墊(紅色、白色)、拋光墊(白色)。
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