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硅片超聲波清洗機

發(fā)布時間: 來源:深圳市威固特洗凈設備有限公司

產(chǎn)品類型:VGT-6048F清洗方法: 十全十美的事物不在話下;百分之百的機會也不在一時之間;而是勇于抓取其中之一的機會,哪怕是0.99%的機遇。所以,....

產(chǎn)品類型:

VGT-6048F

清洗方法: 

    十全十美的事物不在話下;百分之百的機會也不在一時之間;而是勇于抓取其中之一的機會,哪怕是0.99%的機遇。所以,硅片超聲波清洗機主要抓取了本身僅存在的優(yōu)勢:“物理清洗和化學清洗”。 

 物理清洗分為三種: 

①刷洗或擦洗:可除去顆粒污染和大多數(shù)粘在片子上的薄膜。 

②高壓清洗:是用液體噴射片子表面,噴嘴的壓力高達幾百個大氣壓。高壓清洗靠噴射作用,片子不易產(chǎn)生劃痕和損傷。但高壓噴射會產(chǎn)生靜電作用,靠調(diào)節(jié)噴嘴到片子的距離、角度或加入防靜電劑加以避免。 ③超聲波清洗:超聲波聲能傳入溶液,靠氣蝕作用洗掉片子上的污染。但是,從有圖形的片子上除去小于 1微米顆粒則比較困難。將頻率提高到超高頻頻段,清洗效果更好。 

 化學清洗:是為了除去原子、離子不可見的污染,方法較多,有溶劑萃取、酸洗(硫酸、硝酸、王水、各種混合酸等)和等離子體法等。其中雙氧水體系清洗方法效果好,環(huán)境污染小。一般方法是將硅片先用成分比為H2SO4:H2O2=5:1或4:1的酸性液清洗。清洗液的強氧化性,將有機物分解而除去;用超純水沖洗后,再用成分比為H2O:H2O2:NH4OH=5:2:1或5:1:1或7:2:1的堿性清洗液清洗,由于H2O2的氧化作用和NH4OH的絡合作用,許多金屬離子形成穩(wěn)定的可溶性絡合物而溶于水;然后使用成分比為H2O:H2O2:HCL=7:2:1或5:2:1的酸性清洗液,由于H2O2的氧化作用和鹽酸的溶解,以及氯離子的絡合性,許多金屬生成溶于水的絡離子,從而達到清洗的目的。

適用范圍: 

 威固特硅片超聲波清洗機主要適用于硅片、精密元器件、電子真空器件等等。

 技術(shù)參數(shù): 

超聲波功率:2400W

超聲波頻率:28,40,60KHZ 

換能器數(shù)量:48PCS 

電源電壓:單相22VAC,三相380VAC


(官方微信號:chinajnhb)
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