沸石分子篩/人工吸附填料：

類似轉(zhuǎn)輪使用的人造沸石，利用一些硅氧化物的高溫高壓成型的多微孔材料，可以對VOCs廢氣的分子進行吸附，并且可以在較高的溫度條件下進行VOCs氣體分子的脫附。由于材料本身的不燃性，可以在裝載了吸附填料的罐體中先吸附儲存工藝廢氣，在吸附飽和后進行脫附處置。適合于間隔時間較長、溶劑使用量較小的生產(chǎn)工藝。
1）安全性：不燃性，不擔心吸附/濃縮系統(tǒng)有失火的危險。材料本身強度大大高于活性碳，發(fā)生粉化爆燃的可能性遠比活性碳低。

2）脫附溫度：相比脫附溫度只能達到90℃的活性碳，分子篩填料可以在1000℃范圍內(nèi)工作。實際操作中利用近200℃的高溫煙氣在短時間內(nèi)可充分脫附附著在填料微孔內(nèi)的高沸點有機廢氣分子。

3）長壽命：頻繁使用條件下相比數(shù)月就必須更換的活性碳，分子篩填料的使用壽命可達到5年以上，大大降低使用成本和頻繁更換吸附材料而帶來的管理成本。
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 1、直燃氧化法（TO）：

使用燃燒器加熱爐體到有機廢氣的分解溫度后，通入生產(chǎn)工藝的尾氣使尾氣中的有機廢氣在高溫下發(fā)生熱氧化。出口的高溫煙氣通過換熱器將部分熱量傳遞給爐體入口的工藝尾氣。所產(chǎn)生的能耗來自進出口尾氣的溫度差。
直燃燃燒法具有加熱速度快，反應(yīng)溫度高、有機物清除效率高的優(yōu)點。但換熱效率由于換熱器換熱面積的限制通常只有60～70%。因此同等風量條件下直燃氧化法的能耗較大。通常適合于風量較小、有機廢氣濃度較高的生產(chǎn)工藝。

2、催化氧化法（CO）：

利用化學催化劑的催化性能降低通過催化床的有機物質(zhì)的燃點，可以在較低溫度條件下就實現(xiàn)廢氣的熱氧化。由于不需要將反應(yīng)溫度升高到高溫就可以實現(xiàn)有機物的分解氧化，系統(tǒng)可以在相對較低溫的條件下運行，升溫速度更快，且可以利用電熱管等方法對系統(tǒng)進行加熱，燃料選擇面更廣。
與直燃氧化法相同，可以通過換熱器將部分尾氣的熱量傳遞給設(shè)備入口的尾氣，降低前后的溫差。
催化氧化法通常應(yīng)用在風量較小、有機廢氣濃度較高的生產(chǎn)工藝。更適合于需要隔爆的生產(chǎn)現(xiàn)場。但由于催化劑的性能限制，不可在廢氣中含有鹵素、金屬粉塵、硅粉塵等工藝的生產(chǎn)現(xiàn)場使用。

3、蓄熱催化氧化法（RCO）：

在蓄熱氧化爐的蓄熱塔內(nèi)裝載催化床，可以在較高的換熱效率下實現(xiàn)較低溫的催化氧化。由于在爐體內(nèi)必須留出空間給催化床，蓄熱催化氧化爐的換熱效率和保溫性能要低于蓄熱氧化爐，且催化效率低于通常的催化氧化爐。
適合于風量中、小的各類生產(chǎn)工藝，但由于催化劑的性能限制，不可在廢氣中含有鹵素、金屬粉塵、硅粉塵等工藝的生產(chǎn)現(xiàn)場使用。