工程驗(yàn)收 
基本規(guī)定 
14.1.1 潔凈廠房工程施工完成后應(yīng)進(jìn)行工程驗(yàn)收，以確認(rèn)各項(xiàng)性能參數(shù)符合設(shè)計(jì)、使用和相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范的要求。 
14.1.2 竣工驗(yàn)收應(yīng)由建設(shè)單位負(fù)責(zé)，組織施工、設(shè)計(jì)、監(jiān)理等單位進(jìn)行驗(yàn)收。 
14.1.3 功能驗(yàn)收應(yīng)在竣工驗(yàn)收完成后進(jìn)行，由建設(shè)單位負(fù)責(zé)，并由具有相應(yīng)檢測(cè)資質(zhì)的第三方進(jìn)行檢測(cè)。設(shè)計(jì)、施工單位配合。 
14.1.4 使用驗(yàn)收應(yīng)在功能驗(yàn)收完成后進(jìn)行，由建設(shè)單位負(fù)責(zé)，可由具有相應(yīng)檢測(cè)資質(zhì)的第三方或由建設(shè)單位與第三方共同進(jìn)行測(cè)試。設(shè)計(jì)、施工單位配合。 
14.1.5 潔凈廠房工程驗(yàn)收的檢測(cè)狀態(tài)分為空態(tài)、靜態(tài)和動(dòng)態(tài)?？⒐を?yàn)收階段的檢測(cè)宜在空態(tài)或靜態(tài)下進(jìn)行，應(yīng)由建設(shè)方、設(shè)計(jì)方和施工方協(xié)商確定，一般是在空態(tài)下進(jìn)行；功能驗(yàn)收階段的檢測(cè)應(yīng)在靜態(tài)下進(jìn)行；使用驗(yàn)收階段的檢測(cè)應(yīng)在動(dòng)態(tài)進(jìn)行。  
潔凈廠房的測(cè)試 
14.2.1 潔凈廠房的工程驗(yàn)收中，在進(jìn)行各項(xiàng)性能檢測(cè)之前，凈化空調(diào)系統(tǒng)等均應(yīng)達(dá)到穩(wěn)定運(yùn)行狀態(tài)。 
14.2.2 檢測(cè)用儀器儀表均應(yīng)經(jīng)過具有相應(yīng)資質(zhì)的單位進(jìn)行標(biāo)定，并在標(biāo)定有效期內(nèi)。 
14.2.3 潔凈廠房測(cè)試應(yīng)按工程驗(yàn)收階段分段進(jìn)行?？⒐を?yàn)收階段的檢測(cè)是確認(rèn)各項(xiàng)設(shè)施符合工程設(shè)計(jì)和合同的要求；功能驗(yàn)收階段的檢測(cè)是確認(rèn)各項(xiàng)設(shè)施均能有效、可靠的運(yùn)行；使用驗(yàn)收階段的檢測(cè)是按建設(shè)方規(guī)定的生產(chǎn)工藝和“動(dòng)態(tài)”活動(dòng)要求，確認(rèn)各項(xiàng)設(shè)施的有效、可靠的運(yùn)行。 
14.2.4 潔凈廠房性能測(cè)試項(xiàng)目見表
14.2.4具體工程項(xiàng)目的性能測(cè)試清單、測(cè)試順序等見附錄B。
表14.2.4   潔凈廠房性能測(cè)試項(xiàng)目 序號(hào)    測(cè)試項(xiàng)目    單向流    非單向流    測(cè)試方法    測(cè)試儀器
 1    空氣潔凈度等級(jí)    檢測(cè)    檢測(cè)         
2    風(fēng)量    檢測(cè)    檢測(cè)        
 3    平均風(fēng)速    檢測(cè)    n        
 4    風(fēng)速不均勻度    必要時(shí)測(cè)    n        
 5    靜壓差    檢測(cè)    檢測(cè)         
6    過濾器安裝后的檢漏    檢測(cè)    檢測(cè)         
7    超微粒子    必要時(shí)測(cè)    必要時(shí)測(cè)         
8    宏粒子    必要時(shí)測(cè)    必要時(shí)測(cè)         
9    氣流目測(cè)    檢測(cè)    檢測(cè)         
10    浮游菌、沉降菌    必要時(shí)測(cè)    必要時(shí)測(cè)         
11    溫度    檢測(cè)    檢測(cè)         
12    相對(duì)濕度    檢測(cè)    檢測(cè)         
13    照度    檢測(cè)         
14    照度均勻度    必要時(shí)測(cè)         
15    噪聲    檢測(cè)         
16    微振動(dòng)    必要時(shí)測(cè)         
17    靜電測(cè)試    必要時(shí)測(cè)         
18    自凈時(shí)間    n    檢測(cè)         
19    粒子沉降測(cè)試    必要時(shí)測(cè)         
20    密閉性測(cè)試    檢測(cè)    n         
注：n表示不檢測(cè) 
14.2.5 空氣潔凈度等級(jí)的檢測(cè)是對(duì)粒徑分布在0.1μm至5.0μm之間的懸浮粒子的粒徑和濃度進(jìn)行測(cè)試，空氣潔凈度等級(jí)應(yīng)符合設(shè)計(jì)和建設(shè)方的要求。對(duì)于超微粒子（<0.1μm）、宏粒子（>5.0μm）的測(cè)試結(jié)果，應(yīng)根據(jù)業(yè)主或設(shè)計(jì)要求確定。 
檢測(cè)方法：附錄B。 檢測(cè)數(shù)量：全數(shù)檢查。 
14.2.6 根據(jù)生產(chǎn)工藝要求，應(yīng)進(jìn)行潔凈室內(nèi)浮游菌、沉降菌的檢測(cè)。 檢測(cè)方法：附錄B。 檢測(cè)數(shù)量：全數(shù)檢查。 
14.2.7 風(fēng)量和風(fēng)速的測(cè)試，對(duì)單向流潔凈室的送風(fēng)量是以測(cè)試的平均送風(fēng)速度乘以送風(fēng)截面積確定；非單向流潔凈室的送風(fēng)量可采用直接測(cè)試或測(cè)出風(fēng)口風(fēng)速乘以出風(fēng)截面積確定。 單向流潔凈室以送風(fēng)平均速度、非單向流潔凈室以送風(fēng)量計(jì)算得到的換氣次數(shù)。 檢測(cè)方法：測(cè)試方法見附錄B。 檢測(cè)數(shù)量：按房間或區(qū)域，全數(shù)檢查。 
14.2.8 壓差測(cè)試，為檢驗(yàn)潔凈室（區(qū)）與其周圍環(huán)境之間的規(guī)定靜壓差，應(yīng)在潔凈室（區(qū)）的風(fēng)速、風(fēng)量和送風(fēng)均勻性檢測(cè)合格后進(jìn)行靜壓差測(cè)試。 檢測(cè)方法：測(cè)試方法見附錄B。 檢測(cè)數(shù)量：按房間或區(qū)域，全數(shù)檢查。 
14.2.9 空氣過濾器安裝后的檢漏，為檢驗(yàn)潔凈室（區(qū)）的高效空氣過濾器的完好性和安裝質(zhì)量，在安裝后的空氣過濾器的上風(fēng)測(cè)引入測(cè)試氣溶膠，并及時(shí)在送風(fēng)口和過濾器周邊、外框與安裝框架之間的密封處進(jìn)行掃描檢漏。檢漏測(cè)試可在“空態(tài)”或“靜態(tài)”進(jìn)行。 檢測(cè)方法：測(cè)試方法見附錄B。 檢測(cè)數(shù)量：按空氣潔凈度等級(jí)和建設(shè)方要求確定，抽檢數(shù)量不低于30%。 
14.2.10 為確認(rèn)潔凈室（區(qū)）的氣流流型和氣流方向，在上述檢測(cè)達(dá)到要求后進(jìn)行氣流流型檢測(cè)。 檢測(cè)方法：見附錄B。 檢測(cè)數(shù)量：?jiǎn)蜗蛄鳌⒒旌狭鳚崈羰遥▍^(qū)）抽檢50%以上，非單向流潔凈室（區(qū)）抽檢30%以上。 
14.2.11 為確認(rèn)凈化空調(diào)系統(tǒng)對(duì)潔凈室（區(qū)）的溫度、相對(duì)濕度的控制能力，應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)連續(xù)、穩(wěn)定運(yùn)行后進(jìn)行檢測(cè)，達(dá)到設(shè)計(jì)要求。 檢測(cè)方法：見附錄B。 檢測(cè)數(shù)量：按房間或區(qū)域，全數(shù)檢查。 
14.2.12 對(duì)于空氣潔凈度等級(jí)嚴(yán)于5級(jí)的潔凈室（區(qū)），應(yīng)對(duì)圍護(hù)結(jié)構(gòu)進(jìn)行密閉性測(cè)試，以確認(rèn)有無被污染的空氣從相鄰潔凈室（區(qū)）或非潔凈室（區(qū)）通過吊頂、隔墻或門窗滲漏進(jìn)入潔凈室（區(qū)）。 檢測(cè)方法：見附錄B。 檢測(cè)數(shù)量：抽檢30%以上。 
14.2.13 潔凈室（區(qū)）內(nèi)的噪聲測(cè)試，應(yīng)在“空態(tài)”或與建設(shè)單位協(xié)商的狀態(tài)下進(jìn)行檢測(cè)，室內(nèi)噪聲達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定值。 檢測(cè)方法：見附錄B。 檢測(cè)數(shù)量：按房間或區(qū)域，全數(shù)檢查。 
14.2.14 潔凈室（區(qū)）的照度測(cè)試，應(yīng)在室內(nèi)溫度穩(wěn)定和光源光穩(wěn)定狀態(tài)下進(jìn)行，室內(nèi)照度值達(dá)到設(shè)計(jì)要求。 檢測(cè)方法：見附錄B。 檢測(cè)數(shù)量：按房間或區(qū)域，全數(shù)檢查。 
14.2.15 對(duì)于非單向流潔凈室，應(yīng)進(jìn)行自凈時(shí)間的檢測(cè)。 檢測(cè)方法：見附錄B。 檢測(cè)數(shù)量：按房間或區(qū)域，全數(shù)檢查。 
14.2.16 當(dāng)潔凈廠房中設(shè)有需微振控制的精密設(shè)備儀器時(shí)，應(yīng)對(duì)微振控制設(shè)施的建造質(zhì)量進(jìn)行檢測(cè)，達(dá)到設(shè)計(jì)要求。 檢測(cè)方法：見附錄B。 檢測(cè)數(shù)量：按房間或區(qū)域，全數(shù)檢查。 
14.2.17 根據(jù)生產(chǎn)工藝要求，應(yīng)對(duì)潔凈室（區(qū)）的地面、墻面和工作臺(tái)面的表面導(dǎo)靜電性能進(jìn)行檢測(cè)，達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)或設(shè)計(jì)要求。 檢測(cè)方法：見附錄B。 檢測(cè)數(shù)量：按房間或區(qū)域，全數(shù)檢查。 
14.2.18 潔凈廠房的每項(xiàng)測(cè)試，均應(yīng)編寫測(cè)試報(bào)告，其主要內(nèi)容有； 
1 測(cè)試單位的名稱、地址，測(cè)試人和測(cè)試日期； 
2 所測(cè)設(shè)施名稱及毗鄰區(qū)域的名稱和測(cè)試的位置、座標(biāo)； 
3 設(shè)施 類型及相關(guān)參數(shù)； 
4 測(cè)試項(xiàng)目的性能參數(shù)、標(biāo)準(zhǔn)，包括占用狀態(tài)等； 
5 所采用的測(cè)試方法、測(cè)試儀器及其相關(guān)的說明文件； 
6 測(cè)試結(jié)果，包括測(cè)試記錄、分析意見； 
7 結(jié)論。    
竣工驗(yàn)收 
14.3.1 潔凈廠房的竣工工驗(yàn)收，是在各分部單機(jī)試車，無生產(chǎn)負(fù)荷系統(tǒng)試車自檢合格后進(jìn)行?？⒐を?yàn)收的內(nèi)容是對(duì)各分部工程的單機(jī)試車和無生產(chǎn)負(fù)荷系統(tǒng)試車的核查，潔凈室（區(qū)）性能參數(shù)檢測(cè)和調(diào)試、各分部觀感質(zhì)量核查，建設(shè)方要求的檢測(cè)和調(diào)試內(nèi)容。 
14.3.2 潔凈廠房竣工驗(yàn)收時(shí)，應(yīng)認(rèn)真檢查竣工驗(yàn)收的資料，一般包括下列文件及記錄： 
1 圖紙會(huì)審記錄、設(shè)計(jì)變更通知書和竣工圖； 
2 各分部工程的主要設(shè)備、材料和儀器儀表的出廠合格證明及進(jìn)場(chǎng)檢驗(yàn)報(bào)告； 
3 各分部工程的單機(jī)設(shè)備、系統(tǒng)安裝及檢驗(yàn)記錄； 
4 各分部單機(jī)試運(yùn)轉(zhuǎn)記錄； 
5 各分部工程、系統(tǒng)無負(fù)荷試運(yùn)轉(zhuǎn)與調(diào)試記錄； 
6 各類管線試驗(yàn)、檢查記錄； 
7 各分部工程的安全設(shè)施的檢驗(yàn)和調(diào)試記錄； 
8 各分部工程的質(zhì)量驗(yàn)收記錄。 
14.3.3 潔凈廠房?jī)?nèi)各分部工程的觀感質(zhì)量核查，應(yīng)符合本規(guī)范5～13章的相關(guān)規(guī)定。 檢測(cè)方法：觀察檢查、尺量。 檢測(cè)數(shù)量：各分部按系統(tǒng)抽查20%，且不得少于1個(gè)系統(tǒng)；各類設(shè)備、部件、儀表和閥門等，按數(shù)量抽查20%，且不得少于1臺(tái)或10件。 
14.3.4 各分部工程的各類設(shè)備單機(jī)試車的核查，應(yīng)符合本規(guī)范5～12章的相關(guān)規(guī)定。 檢測(cè)方法：按5～12章的相關(guān)方法。 檢測(cè)數(shù)量：按數(shù)量每種單機(jī)抽查20%，且不得少于1臺(tái)。 
14.3.5 各分部工程的各類系統(tǒng)的單機(jī)試車核查合格后，應(yīng)進(jìn)行無生產(chǎn)負(fù)荷的穩(wěn)定運(yùn)行核查，并應(yīng)符合本規(guī)范5~12章的相關(guān)規(guī)定。 檢測(cè)方法：按5~12章的相關(guān)方法。 檢測(cè)數(shù)量：每一分部按系統(tǒng)抽查20%，且不得少于1個(gè)系統(tǒng)。 
14.3.6 潔凈廠房竣工驗(yàn)收的主要測(cè)試內(nèi)容如下： 
1 氣流目測(cè)； 
2 風(fēng)速和風(fēng)量測(cè)試； 
3 空氣過濾器的檢漏； 
4 潔凈室（區(qū)）的密閉性測(cè)試； 
5 房間之間的靜壓差測(cè)試； 
6 空氣潔凈度等級(jí)； 
7 自凈時(shí)間； 
8 溫度、相對(duì)濕度； 
9 照度值； 
10 噪聲級(jí)； 
11 其他建設(shè)方需要進(jìn)行的檢測(cè)項(xiàng)目。 
14.3.7 潔凈廠房竣工驗(yàn)收后，應(yīng)由施工方編寫竣工驗(yàn)收?qǐng)?bào)告，其主要內(nèi)容除外還有： 
1 觀感核查記錄； 
2 分項(xiàng)測(cè)試記錄及分析意見（包括測(cè)試點(diǎn)位置、座標(biāo)等）； 
3 測(cè)試儀器的有效校驗(yàn)證書； 
4 結(jié)論。  
功能驗(yàn)收 
14.4.1 潔凈廠房的功能驗(yàn)收是經(jīng)過規(guī)定的檢測(cè)和調(diào)試，確認(rèn)潔凈室（區(qū)）功能參數(shù)都能有效的滿足產(chǎn)品生產(chǎn)運(yùn)行的要求。 
14.4.2 潔凈廠房的竣工驗(yàn)收合格，并經(jīng)核實(shí)批準(zhǔn)后，按建設(shè)方要求進(jìn)行功能驗(yàn)收，功能驗(yàn)收是在“靜態(tài)”進(jìn)行測(cè)試，其主要測(cè)試內(nèi)容如下： 
1 檢測(cè)空氣潔凈度等級(jí)； 
2 生產(chǎn)工藝有要求者，還應(yīng)進(jìn)行微生物測(cè)試或化學(xué)污染物測(cè)試或特殊表面的潔凈度測(cè)試； 
3 潔凈室（區(qū)）的溫度、相對(duì)濕度的穩(wěn)定性測(cè)試； 
4 檢測(cè)自凈時(shí)間； 
5 檢測(cè)潔凈室（區(qū)）的密閉性測(cè)試； 
6 測(cè)定照度； 
7 測(cè)定噪聲級(jí)； 
8 需要時(shí)，確認(rèn)和記錄氣流形式和換氣次數(shù)； 
9 建設(shè)方需要進(jìn)行的其他檢測(cè)項(xiàng)目。 
14.4.3 潔凈廠房的功能驗(yàn)收后，應(yīng)由建設(shè)方或建設(shè)方指定的相關(guān)單位編寫驗(yàn)收?qǐng)?bào)告，其主要內(nèi)容有： 
1 潔凈廠房中各種設(shè)施的開啟狀態(tài)描述； 
2 分項(xiàng)測(cè)試記錄及分析意見（包括測(cè)試點(diǎn)位置、座標(biāo)等）； 
3 測(cè)試儀器的有效校驗(yàn)證書； 
4 結(jié)論。 
14.5   使用驗(yàn)收 
14.5.1 潔凈廠房的使用驗(yàn)收是在建設(shè)單位規(guī)定的使用狀態(tài)下進(jìn)行檢測(cè)和調(diào)試，確認(rèn)潔凈室（區(qū)）的動(dòng)態(tài)性能參數(shù)都能有效的滿足使用要求。 
14.5.2 使用驗(yàn)收的主要檢測(cè)內(nèi)容有： 
1 檢測(cè)空氣潔凈度等級(jí)； 
2 生產(chǎn)工藝有要求者，還應(yīng)進(jìn)行微生物測(cè)試或化學(xué)污染物測(cè)試或特殊表面的潔凈度測(cè)試； 
3 溫度、相對(duì)濕度的穩(wěn)定性測(cè)試； 
4 確認(rèn)潔凈室（區(qū)）的隔離性能； 
5 建設(shè)方需要進(jìn)行的其他檢測(cè)項(xiàng)目。 
14.5.3 潔凈廠房使用驗(yàn)收后，應(yīng)由建設(shè)方或建設(shè)方指定的相關(guān)單位編寫使用驗(yàn)收?qǐng)?bào)告，其主要內(nèi)容有： 
1 潔凈廠房中各種設(shè)施（包括生產(chǎn)工藝設(shè)備）等的開啟狀態(tài)描述； 
2 測(cè)試的潔凈室（區(qū)）人員及其活動(dòng)情況的描述； 
3 分項(xiàng)測(cè)試記錄及分析意見（包括測(cè)試點(diǎn)位置、座標(biāo)等）； 
4 測(cè)試儀器的有效校驗(yàn)證書； 
5 結(jié)論。   
附錄A   潔凈廠房總主要施工程序 
A.0.1 潔凈廠房的施工安裝內(nèi)容主要有：建筑裝飾、凈化空調(diào)系統(tǒng)、各動(dòng)力公用和安全設(shè)施以及各種配管配線等；潔凈廠房的施工安裝應(yīng)根據(jù)具體工程特點(diǎn)，使用功能，還應(yīng)安排好相關(guān)生產(chǎn)工藝設(shè)備的安裝和二次配管配線的安裝。 
A.0.2 潔凈廠房的施工安裝程序中，應(yīng)根據(jù)具體工程情況、復(fù)雜程度等因素，必要時(shí)應(yīng)進(jìn)行二次潔凈室裝飾設(shè)計(jì)或二次配管配線設(shè)計(jì)等。 
A.0.3 潔凈廠房的施工安裝需各專業(yè)、多工種密切配合，按具體工程實(shí)際情況，制定施工安裝程序和計(jì)劃進(jìn)度，循環(huán)漸進(jìn)地完成潔凈廠房的施工建造。
圖A.0.3是潔凈廠房的主要施工程序圖示。 
圖A.0.3 潔凈廠房的主要施工程序圖示 。
附錄B  性能測(cè)試清單和測(cè)試順序
B.0.1  性能測(cè)試項(xiàng)目和順序的選擇，應(yīng)根據(jù)具體工程的規(guī)模、空氣潔凈度等級(jí)、生產(chǎn)工藝要求及布置情況、凈化空調(diào)設(shè)施等因素確定，并應(yīng)由建設(shè)方、施工方協(xié)商一致填寫簽署表B.0.1。 
表B.0.1   潔凈廠房性能測(cè)試項(xiàng)目和順序清單 選擇測(cè)試 順序    測(cè)試內(nèi)容    測(cè)試程序參照條款    選擇測(cè)試儀器    測(cè)試儀器   懸浮粒子    
2、在第4列中，測(cè)試可按所選的測(cè)試方法選擇測(cè)試儀器。   
附錄C    測(cè)試方法 
C.1  空氣潔凈度等級(jí)測(cè)試 
C.1.1 空氣潔凈度等級(jí)的測(cè)試一般采用粒子計(jì)數(shù)器，采樣量應(yīng)大于1L/ min。測(cè)試粒徑大于等于0.5μm粒子時(shí)，宜采用光散射粒子計(jì)數(shù)器；測(cè)試粒徑大于等于0.1的粒子時(shí)，宜采用大流量激光粒子計(jì)數(shù)器（采樣量每分鐘28.3L）；測(cè)試粒徑小于0.1μm的超微粒子時(shí)，宜采用凝聚核激光粒子計(jì)數(shù)器。 
C.1.2 潔凈度等級(jí)測(cè)試前，應(yīng)先進(jìn)行風(fēng)速，風(fēng)量、靜壓差、過濾器檢漏和圍護(hù)結(jié)構(gòu)密閉性檢測(cè)。 
C.1.3 采樣點(diǎn)確定 
C.1.3.1 應(yīng)下式計(jì)算最少采樣點(diǎn)                                    
（C.1.3） 式中 ——最少采樣點(diǎn)，四舍五入取整數(shù)；——潔凈室（區(qū)）的面積。在水平單向流時(shí)，指與氣流方向垂直的流動(dòng)空氣的截面積。以㎡計(jì)。 
C.1.3.2 采樣點(diǎn)應(yīng)均勻分布于潔凈室（區(qū)）的面積內(nèi)，并位于工作區(qū)高度。 
C.1.4 每次采樣的最少采樣量 
C.1.4.1 每個(gè)采樣點(diǎn)的每次采樣量（VS）應(yīng)按下式計(jì)算：                                    
（C.1.4） 式中： ——被測(cè)潔凈室（區(qū)）空氣潔凈度等級(jí)被測(cè)粒徑的允許限值（個(gè)/m3）； 20——在規(guī)定被測(cè)粒徑粒子的空氣潔凈度限值時(shí)，可檢測(cè)到的粒子數(shù)。 
C.1.4.2 每個(gè)采樣點(diǎn)的采樣量至少為2L，采樣時(shí)間最少為1min，當(dāng)潔凈室（區(qū)）僅有1個(gè)采樣點(diǎn)時(shí)，則在該點(diǎn)至少采樣3次。     當(dāng)Vs很大時(shí)，采樣時(shí)間會(huì)很長(zhǎng)，可參照采用ISO14644-1附錄F中規(guī)定的順序采樣法。 
C.1.5 對(duì)于單向流潔凈室，采樣口應(yīng)對(duì)著氣流方向，對(duì)于非單向流潔凈室，采樣口宜向上。采樣速度宜接近室內(nèi)氣流速度。 
C.1.6 室內(nèi)測(cè)試人員必須穿潔凈服，不得超過3人，應(yīng)位于測(cè)試點(diǎn)下風(fēng)側(cè)并遠(yuǎn)離測(cè)試點(diǎn)，并應(yīng)保持靜止。進(jìn)行換點(diǎn)操作時(shí)動(dòng)作要輕，應(yīng)減少人員對(duì)室內(nèi)潔凈度的干擾。 
C.1.7 每個(gè)采樣次數(shù)為2次或2次以上的采樣點(diǎn)，應(yīng)按式C.1.7計(jì)算平均粒子濃度。                                 
（C.1.7） 式中： ——采樣點(diǎn)i的平均粒子濃度，i可代表任何位置；    ——每次采樣的粒子濃度；  N——在采樣點(diǎn)i的采樣次數(shù)。 
C.1.8 采樣點(diǎn)為1個(gè)時(shí)，應(yīng)按式C.1.7計(jì)算該點(diǎn)平均粒子濃度。采樣點(diǎn)為10個(gè)或10個(gè)以上時(shí)，按式C.1.7計(jì)算各點(diǎn)的平均濃度后，再按式C.1.8計(jì)算潔凈室（區(qū)）總平均值。                                
（C.1.8） 式中：  ——各采樣點(diǎn)平均值的總平均值；   ——按式C.1.7計(jì)算的各個(gè)采樣點(diǎn)的平均值，既潔凈室（區(qū)）總平均值；       m——采樣點(diǎn)的總數(shù)。 
C.1.9 置信上限（UCL）的計(jì)算 
C.1.9.1 當(dāng)采樣點(diǎn)只有1個(gè)或多于9個(gè)時(shí)，不計(jì)算95%置信上限。 
C.1.9.2 采樣點(diǎn)為1個(gè)以上10個(gè)以下時(shí)，根據(jù)式C.1.8計(jì)算出各采樣點(diǎn)平均值和總平均值后，還應(yīng)按式C.1.9.1計(jì)算出總平均值的標(biāo)準(zhǔn)偏差（S）。 （C.1.9-1） 
C.1.9.3 最后按式B.1.9-2計(jì)算出總平均值的95%置信上限（UCL）。  （C.1.9-2） 式中t——分布系數(shù)，見表B.1.9。 表C.1.9    95%置信上限（UCL）的t分布系數(shù) 采樣點(diǎn)數(shù)（m）    2    3    4    5    6    7～9 t    6.3    2.9    2.4    2.1    2.0    1.9 
C.1.9.4   如果每個(gè)采樣點(diǎn)測(cè)得粒子濃度的平均值 以及潔凈室總平均值95%置信上限均未超過空氣潔凈度等級(jí)的濃度限值，則認(rèn)為該潔凈室（區(qū)）已達(dá)到規(guī)定的空氣潔凈度等級(jí)。 如果測(cè)試結(jié)果未能滿足規(guī)定的空氣潔凈度等級(jí)，可增加均勻分布的新采樣點(diǎn)進(jìn)行測(cè)試，對(duì)包括新增采樣點(diǎn)數(shù)據(jù)在內(nèi)的所有數(shù)據(jù)重新計(jì)算的結(jié)果，作為最終檢驗(yàn)結(jié)果。 
C.1.10 空氣潔凈度等級(jí)計(jì)算例 
C.1.10.1 被測(cè)潔凈室面積（區(qū)）為1000m2，空氣潔凈度等級(jí)為ISO5級(jí)，規(guī)定受控粒子粒徑為0.3μm（D1）、0.5μm（D2）。根據(jù)測(cè)試結(jié)果確定在動(dòng)態(tài)下是否符合規(guī)定的懸浮粒子允許濃度限值。 
⑴ 規(guī)定的粒徑均在現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)ISO5級(jí)粒徑范圍，并符合D2≥1.5D1的要求。 
⑵ 計(jì)算最大允許懸浮粒子濃度 對(duì)≥0.3μm的粒子：  ，取10200個(gè)/m3。 對(duì)≥0.5μm的粒子： 取3520個(gè)/m3。 
⑶ 按式（C.1.3）計(jì)算采樣點(diǎn)數(shù)量：  取32 由于采樣點(diǎn)數(shù)大于10，不計(jì)算95%置信上限。 
⑷ 采樣點(diǎn)每次采樣量（Vs），按式(B.1.4)計(jì)算   選用采樣量為28L/min的粒子計(jì)數(shù)器。這一選擇滿足：VS>2L、Cn.m>20個(gè)/m3的要求，其采樣時(shí)間≥1min。 
C.2  風(fēng)速和風(fēng)量測(cè)試 
C.2.1 風(fēng)速測(cè)試儀器可使用熱球式風(fēng)速計(jì)、超聲風(fēng)速計(jì)、葉片式風(fēng)速計(jì)等；風(fēng)量測(cè)試可使用帶流量計(jì)的風(fēng)罩、文丘里流量計(jì)、孔板流量計(jì)等。 
C.2.2 單向流設(shè)施的截面風(fēng)速、面風(fēng)速和風(fēng)量測(cè)試 
C.2.2.1對(duì)單向流設(shè)施的風(fēng)速測(cè)試，應(yīng)將測(cè)試平面垂直于送風(fēng)氣流，該測(cè)試平面距離高效空氣過濾器出風(fēng)面150～300mm，宜采用300mm。將測(cè)試平面分成若干面積相等的柵格，柵格數(shù)量不少于測(cè)試截面面積（m2）的平方，測(cè)點(diǎn)在每個(gè)柵格的中心，全部測(cè)點(diǎn)不少于3點(diǎn)。 直接測(cè)量過濾器面風(fēng)速時(shí)，測(cè)點(diǎn)距離過濾器出風(fēng)面為150mm。將測(cè)試面劃分為面積相等的柵格，每個(gè)柵格尺寸為600mm×600mm或更小，測(cè)點(diǎn)在每個(gè)柵格的中心。 每一點(diǎn)的持續(xù)測(cè)試時(shí)間至少為10秒，記錄最大值、最小值和平均值。 單向流潔凈室（區(qū)）的總送風(fēng)量（Qt），應(yīng)按式（C.2.2）計(jì)算：   （m3/h）   （C.2.2） 式中： ——每個(gè)柵格的平均風(fēng)速（m/s）；     A——每個(gè)柵格的面積（㎡）。 
C2.2.2 對(duì)單向流設(shè)施的風(fēng)速分布測(cè)試，一般選取工作面高度為測(cè)試平面，平面上劃分的柵格數(shù)量不少于測(cè)試截面面積（m2）的平方，測(cè)點(diǎn)在每個(gè)柵格的中心。 風(fēng)速分布的不均勻度β０按下列公式計(jì)算，一般不應(yīng)大于０.25 β０= s/v 式中　v——各測(cè)點(diǎn)風(fēng)速的平均值；  s——標(biāo)準(zhǔn)差。 風(fēng)速分布測(cè)試宜于空態(tài)測(cè)試，當(dāng)安裝好工藝設(shè)備和工作臺(tái)時(shí)，在其附近測(cè)得的數(shù)據(jù)可能不能反映潔凈室本身的特點(diǎn)。 
C.2.3 對(duì)非單向流設(shè)施的風(fēng)速、風(fēng)量的測(cè)試 
C.2.3.1 風(fēng)口法測(cè)試風(fēng)速、風(fēng)量 在每個(gè)測(cè)點(diǎn)的持續(xù)測(cè)試時(shí)間至少為10秒，以得到有代表性的平均值。, 每個(gè)空氣過濾器或送風(fēng)散流器的風(fēng)速、風(fēng)量測(cè)試，可參照C.2.2.1中面風(fēng)速及風(fēng)量的測(cè)試和計(jì)算方法。 
C.2.3.2 風(fēng)管法測(cè)試風(fēng)量  對(duì)于高效空氣過濾器或散流器風(fēng)口上風(fēng)側(cè)有較長(zhǎng)的支風(fēng)管段，且已有預(yù)留孔時(shí)，可以采用風(fēng)管法測(cè)試風(fēng)量，測(cè)量斷面應(yīng)位于大于或等于局部阻力部件前3倍管徑或長(zhǎng)邊長(zhǎng)和局部阻力部件后5倍管徑或長(zhǎng)邊長(zhǎng)的部位。 矩形風(fēng)管的測(cè)試斷面，應(yīng)劃分為若干個(gè)相等的小截面，每個(gè)小截面宜為正方形，邊長(zhǎng)不應(yīng)大于200mm，測(cè)點(diǎn)位于小截面中心，但測(cè)點(diǎn)數(shù)不少于3點(diǎn)；園形風(fēng)管的測(cè)試斷面，應(yīng)根據(jù)管徑大小劃分為若干個(gè)面積相同的同心園環(huán)，每個(gè)園環(huán)測(cè)4點(diǎn)，園環(huán)數(shù)不宜少于3個(gè)。
C.2.3.3 風(fēng)罩法測(cè)試風(fēng)量，使用帶有流量計(jì)的風(fēng)罩測(cè)量空氣過濾器的送風(fēng)量時(shí)，風(fēng)罩的開口應(yīng)全部罩住空氣過濾器或散流器，風(fēng)罩面應(yīng)固定在平整的平面上，避免空氣泄漏造成讀數(shù)不準(zhǔn)確。 若在高效空氣過濾器或散流器風(fēng)口的上風(fēng)側(cè)已安裝有文丘里或孔板流量裝置時(shí)，可利用該流量計(jì)直接測(cè)量風(fēng)量。 
C.3  靜壓差的測(cè)試 
C.3.1 靜壓差的測(cè)試可采用電子壓差計(jì)、斜管微壓計(jì)或機(jī)械式壓差計(jì)。 
C.3.2 在進(jìn)行靜壓差檢測(cè)之前，應(yīng)確定潔凈室送、排風(fēng)量均符合設(shè)計(jì)要求。 
C.3.3 靜壓差測(cè)試時(shí)應(yīng)關(guān)閉潔凈區(qū)內(nèi)所有的門，從潔凈區(qū)最里面的房間開始向外依次檢測(cè)。檢測(cè)時(shí)應(yīng)注意使測(cè)試管的管口不受氣流影響。 
C.4  空氣過濾器安裝后的檢漏 
C.4.1 高效空氣過濾器安裝后的檢漏是確認(rèn)安裝質(zhì)量，檢測(cè)高效空氣過濾器送風(fēng)口的整個(gè)面，過濾器的周邊，過濾器外框和安裝框架之間的密封處。檢漏時(shí)，從過濾器的上風(fēng)側(cè)引入測(cè)試氣溶膠，并立即在其下風(fēng)側(cè)進(jìn)行掃描。該項(xiàng)測(cè)試一般在潔凈室（區(qū)）的“空態(tài)”或“靜態(tài)”進(jìn)行。 
C.4, .2 高效空氣過濾器安裝后的檢漏方法有光度計(jì)法和粒子計(jì)數(shù)器法。光度計(jì)法一般用于帶小型空氣處理系統(tǒng)的潔凈室或安裝有氣溶膠注入點(diǎn)的管路系統(tǒng)，可達(dá)到規(guī)定的高濃度測(cè)試氣溶膠；由于粒子計(jì)數(shù)器法的靈敏性好和污染少，一般都采用粒子計(jì)數(shù)器法進(jìn)行高效空氣過濾器安裝后的檢漏。 
C.4.3 采用光度計(jì)法進(jìn)行掃描檢漏時(shí)，被測(cè)試的過濾器的最高穿透粒徑的穿透率等于或大于0.005%。所采用的測(cè)試氣溶膠不應(yīng)對(duì)潔凈室（區(qū)）內(nèi)的產(chǎn)品或工藝設(shè)施帶來影響。 在進(jìn)行光度計(jì)法檢漏前，被測(cè)試過濾器應(yīng)在額定風(fēng)速的80%至120%與之間運(yùn)行，并確認(rèn)其送風(fēng)的均勻性。 被測(cè)試過濾器的上風(fēng)向引入的氣溶膠的濃度應(yīng)為10mg/m3至100 mg/m3。濃度低于20 mg/m3時(shí)，將會(huì)降低檢漏的靈敏度，而濃度高于80 mg/m3時(shí)，若長(zhǎng)時(shí)間測(cè)試會(huì)造成過濾器的污堵。在過濾器檢漏前應(yīng)確認(rèn)氣溶膠的濃度和均勻性。 檢漏掃描時(shí)，若采用3cm×3cm方形探管，掃描速度不得超過5cm/s，矩形探管的最大面積掃描率不得超過15C㎡/s。在掃描過程中，若顯示有等于或大于限值的泄漏時(shí)，則應(yīng)將探管停留在泄漏處。高效空氣過濾器的泄漏限值是指超過上風(fēng)向測(cè)試氣溶膠濃度10-4的泄漏，或與業(yè)主協(xié)商確定。 
C.4.4  采用粒子計(jì)數(shù)器法進(jìn)行掃描檢漏時(shí)，被測(cè)試的空氣過濾器最高穿透粒徑的穿透率大于或等于0.00005%。不允許采用可能沉積在過濾器或管道上的揮發(fā)性油光塵的測(cè)試用氣溶膠。 在進(jìn)行粒子計(jì)數(shù)器檢漏前，被測(cè)試過濾器應(yīng)在額定風(fēng)速的70%至130%之間運(yùn)行，并確認(rèn)其送風(fēng)的均勻性。 被測(cè)試過濾器的上風(fēng)側(cè)應(yīng)引入濃度均勻的大氣塵或添加含有其他氣溶膠的空氣，使之達(dá)到所需的測(cè)試氣溶膠濃度。對(duì)微粒大于等于0.5μm時(shí)，測(cè)試氣溶膠的濃度應(yīng)大于等于3.5×105C/m3；對(duì)于大于等于0.1μm的微粒，其濃度應(yīng)大于等于3.5×109PC/m3。 檢漏掃描時(shí)，采樣口距離被測(cè)部位應(yīng)小于5.0cm，以0.05m/s的速度移動(dòng)?？諝飧咝н^濾器下風(fēng)側(cè)測(cè)試得到的泄漏濃度換算的透過率，不得大于該過濾器出廠合格透過率的3倍。 
C.4.5 安裝在管道或空氣處理機(jī)內(nèi)的高效空氣過濾器的檢漏，檢測(cè)可采用光度計(jì)法或粒子計(jì)數(shù)器法。用于安裝在管道或空氣處理機(jī)內(nèi)的最易穿透粒徑的穿透率大于0.005%的高效空氣過濾器的檢漏。 檢漏時(shí)，被檢測(cè)過濾器就在設(shè)計(jì)風(fēng)速的70%~130%之間運(yùn)行，并確認(rèn)其送風(fēng)均勻性。上風(fēng)向引入的大氣塵或氣溶膠濃度應(yīng)能滿足在下風(fēng)向測(cè)試得到具有統(tǒng)計(jì)意義的讀數(shù)。 測(cè)試時(shí)，應(yīng)將采樣口距離被測(cè)部位30cm至100cm處，在管道中應(yīng)距管壁2.5cm，記錄實(shí)測(cè)的含塵濃度。 高效空氣過濾器檢漏的限值，采用光度計(jì)法時(shí)，不得超過10-4（0.01%）；采用粒子計(jì)數(shù)器法時(shí)，不得大于出廠合格透過率的3倍。 
C.5  氣流流型的檢測(cè) 
C.5.1 氣流流型的檢測(cè)包括氣流目測(cè)和氣流流向的測(cè)試。氣流目測(cè)可采用示蹤線法、發(fā)煙（霧）法和采用圖像處理技術(shù)等方法。氣流流向的測(cè)試一般采用示蹤線法、發(fā)煙（霧）法和三維法測(cè)量氣流速度等方法。 
C.5.2 采用示蹤線法時(shí)可采用尼龍單絲線、棉線、薄膜帶等輕質(zhì)纖維，放置在測(cè)試桿的末端，或裝在氣流中細(xì)絲格柵上，直接觀察出氣流的方向和因干擾引起的波動(dòng)。 
C.5.3 采有發(fā)煙（霧）法時(shí)，可采用去離子水，用固態(tài)二氧化碳（干冰）或超聲波霧化器等生成直徑為0.5~50μm的水霧，采用四氯化鈦（TiCl4）作示蹤粒子時(shí)，應(yīng)確保潔凈室、室內(nèi)設(shè)備以及操作人員不受四氯化鈦產(chǎn)生的酸傷害。 
C.5.4 采用圖像處理技術(shù)進(jìn)行氣流目測(cè)時(shí)，由C.5.2得到的在攝像機(jī)或膜上的粒子圖像數(shù)據(jù)，利用二維空氣流速度矢量提供量化的氣流特性。圖像處理技術(shù)要求帶有適用的接口和軟件的數(shù)字計(jì)算機(jī)。 
C.5.5 采用三維法測(cè)量氣流速度、采用熱球風(fēng)速計(jì)或超聲風(fēng)速計(jì)，檢測(cè)點(diǎn)選擇在關(guān)鍵工作區(qū)及其工作面高度。根據(jù)建設(shè)方要求需進(jìn)行潔凈室（區(qū)）的氣流方向的均勻分布測(cè)試時(shí)，應(yīng)進(jìn)行多點(diǎn)測(cè)試，其測(cè)試點(diǎn)的選擇宜參照C.2中的方法選用。 
C.6  溫度的檢測(cè) 
C.6.1 溫度測(cè)試是確認(rèn)空氣處理設(shè)施的溫度控制能力。潔凈室（區(qū)）的溫度測(cè)試可分為一般溫度測(cè)試和功能溫度測(cè)試。一般溫度測(cè)試主要適用于“空態(tài)”時(shí)的潔凈室（區(qū)）溫度測(cè)試，功能溫度測(cè)試主要用于潔凈室（區(qū)）需嚴(yán)格控制溫度精度時(shí)或建設(shè)方要求在“靜態(tài)”或“動(dòng)態(tài)”進(jìn)行測(cè)試時(shí)應(yīng)用。 
C.6.2 溫度測(cè)試可采用玻璃溫度計(jì)、電阻溫度檢測(cè)裝置、數(shù)字式溫度計(jì)等。 
C.6.3 溫度測(cè)試應(yīng)在潔凈室（區(qū)）進(jìn)行調(diào)試，氣流均勻性測(cè)試完成，并在凈化空調(diào)系統(tǒng)連續(xù)運(yùn)行24h以上后進(jìn)行。 
C.6.4 一般溫度測(cè)試的測(cè)點(diǎn)，每個(gè)溫度控制區(qū)或每個(gè)房間1個(gè)測(cè)點(diǎn)，測(cè)試點(diǎn)高度宜為工作面高度。測(cè)量時(shí)間應(yīng)至少1.0h，并至少6min測(cè)量一次，讀數(shù)穩(wěn)定后作好記錄。 
C.6.5  功能溫度測(cè)試，應(yīng)將潔凈工作區(qū)劃分為等面積的柵格，每個(gè)分格的面積不超過100㎡或與建設(shè)方協(xié)商確定，每格測(cè)點(diǎn)1個(gè)以上，每個(gè)房間測(cè)點(diǎn)至少2個(gè)。 測(cè)試高度應(yīng)為工作面高度，距潔凈室（區(qū)）的吊頂、墻面和地面不小于300mm，并應(yīng)考慮熱源等的影響。測(cè)量時(shí)間應(yīng)至少1.0h，并至少6min測(cè)量一次，讀數(shù)穩(wěn)定后作好記錄。 
C.7  相對(duì)濕度的檢測(cè) 
C.7.1 相對(duì)濕度測(cè)試是確認(rèn)空氣處理設(shè)施的濕度控制能力。濕度測(cè)試時(shí)潔凈室（區(qū)）狀態(tài)見C.6.3。 
C.7.2 濕度測(cè)試可采用通風(fēng)干濕球溫度計(jì)、數(shù)字式溫濕度計(jì)、電容式濕度計(jì)、毛發(fā)式濕度儀器。 
C.7.3 相對(duì)濕度測(cè)試的測(cè)點(diǎn)，測(cè)試時(shí)間、頻度與溫度測(cè)試相同，宜一同測(cè)試。 
C.8  密閉性測(cè)試 
C.8.1 本測(cè)試用于確認(rèn)有無被污染的空氣從相鄰潔凈室（區(qū)）或非潔凈室（區(qū)）通過吊頂、隔墻等表面或門、窗滲漏入潔凈室（區(qū)）。一般適用于1級(jí)至5級(jí)的潔凈室（區(qū)）進(jìn)行測(cè)試。采用光度計(jì)法和粒子計(jì)數(shù)器法進(jìn)行測(cè)試。 
C.8.2 采用粒子計(jì)數(shù)器法時(shí)，測(cè)量被評(píng)價(jià)的表面的潔凈室（區(qū)）外部的空氣中懸浮粒子濃度，應(yīng)比潔凈室（區(qū)）內(nèi)的濃度大一個(gè)104的倍數(shù)，并至少大于等于3.5×106/m3待測(cè)粒徑；若其空氣中懸浮粒子濃度小于該值，應(yīng)添加氣溶膠提高濃度。     粒子計(jì)數(shù)器掃描時(shí)，儀器應(yīng)距離潔凈室（區(qū)）內(nèi)待測(cè)試的接縫密封處或嚙合面5~10cm；掃描速度5cm/s。對(duì)敞開的門廊處的測(cè)試，應(yīng)在距離潔凈室（區(qū)）內(nèi)敞開的門0.3~3.0m處檢測(cè)空氣中懸浮粒子濃度。 
C.8.3 采用光度計(jì)法時(shí)，測(cè)量被評(píng)價(jià)的表面的潔凈室（區(qū)）外部的空氣中懸浮粒子濃度高于光度計(jì)按0.1%設(shè)定值的負(fù)載，若光度計(jì)為0.1%刻度值的讀數(shù)超過0.01%就表明有滲漏。 
C.9  噪聲測(cè)試 
C.9.1 噪聲測(cè)試宜采用倍頻程噪聲分析儀，一般檢測(cè)A聲壓級(jí)的數(shù)據(jù)。潔凈室（區(qū)）噪聲測(cè)試狀態(tài)為空態(tài)或與建設(shè)方協(xié)商確定。 
C.9.2 噪聲測(cè)試點(diǎn)應(yīng)在工作面高度進(jìn)行，一般宜為距地面1.2~1.5m。測(cè)試點(diǎn)數(shù)量可按每100㎡潔凈室（區(qū)）面積一個(gè)點(diǎn)計(jì)算，但每個(gè)房間至少1點(diǎn)。 
C.10  照度的測(cè)試 
C.10.1 照度測(cè)試宜采用便攜式數(shù)字照度計(jì)。 
C.10.2 潔凈室（區(qū)）照度的檢測(cè)應(yīng)在室內(nèi)溫度穩(wěn)定和光源光輸出穩(wěn)定的狀態(tài)后進(jìn)行；對(duì)新熒光燈區(qū)應(yīng)使用100h以上，并在點(diǎn)燃15min后進(jìn)行測(cè)試。 
C.10.3 潔凈室（區(qū)）照度的檢測(cè)只測(cè)試一般照明，不包括局部照明、應(yīng)急照明等。 
C.10.4 照度測(cè)試點(diǎn)應(yīng)選擇在工作面高度進(jìn)行，一般宜為0.85m，通道測(cè)試高度宜為0.2m；測(cè)試點(diǎn)數(shù)量可按每50㎡潔凈室（區(qū)）面積一個(gè)點(diǎn)計(jì)算，但每個(gè)房間不得少于1點(diǎn)。  
C.11  自凈時(shí)間 
C.11.1 潔凈室的自凈時(shí)間檢測(cè)通常只適用于非單向流潔凈室，一般以大氣塵或煙霧發(fā)生器等人工塵源為基準(zhǔn)，采用粒子計(jì)數(shù)器測(cè)試。 
C.11.2 首先應(yīng)測(cè)量潔凈室內(nèi)靠近回風(fēng)口處穩(wěn)定的含塵濃度（N）。 如果以大氣塵為基準(zhǔn)，則必須將潔凈室停止運(yùn)行相當(dāng)時(shí)間，在室內(nèi)含塵濃度已接近于大氣濃度時(shí)，測(cè)出潔凈室內(nèi)靠近回風(fēng)口處的含塵濃度（N0）。然后開, 機(jī)，定時(shí)讀數(shù)（一般可設(shè)置每間隔6s讀數(shù)一次），直到回風(fēng)口處的含塵濃度回復(fù)到原來的穩(wěn)定狀態(tài)，記錄下所需的時(shí)間（t）。 以人工塵源為基準(zhǔn)時(shí)，應(yīng)將煙霧發(fā)生器（如巴蘭香煙）放置在地面上1.8m以上室中心，發(fā)煙1~2min后停止，等待1min測(cè)出潔凈室內(nèi)靠近回風(fēng)口處的含塵濃度（N0）。然后開機(jī)，方法同上。 
C.11.3  由初始濃度（N0），室內(nèi)達(dá)到穩(wěn)定的濃度（N），實(shí)際換氣次數(shù)（n），可得到計(jì)算自凈時(shí)間（t0），與實(shí)測(cè)自凈時(shí)間（t）進(jìn)行對(duì)比，一般的，如果t≤1.2t0,為合格。 
C.11.4  潔凈室的自凈性能還可以采用粒子濃度變化率評(píng)估，或者直接測(cè)量潔凈室的100:1-自凈時(shí)間進(jìn)行評(píng)估，具體方法可參照ISO14644-3中的B.13。   
C.12  超微粒子的測(cè)試 
C.12.1 對(duì)潔凈室（區(qū)）內(nèi)粒徑小于0.1μm的超微粒子的測(cè)試，可在三種占用狀態(tài)中的任一種狀態(tài)下進(jìn)行測(cè)試。 
C.12.2 超微粒子的測(cè)試，宜采用凝聚核粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行；其采樣點(diǎn)和采樣流量可按C.1的要求進(jìn)行。具體方法參照ISO14644-3中的B.2。 
C.13  宏粒子的測(cè)試 
B.13.1 對(duì)潔凈室（區(qū)）內(nèi)粒徑大于5μm的宏粒子的測(cè)試，可在三種占用狀態(tài)中的任一種狀態(tài)下進(jìn)行測(cè)試。 
B.13.2 宏粒子的測(cè)試，宜采用過濾法、粒子計(jì)數(shù)器計(jì)數(shù)法等進(jìn)行測(cè)量，其采樣點(diǎn)、采樣流量可按C.1的要求進(jìn)行。具體方法參照ISO14644-3中的B.3。 
C.14  微振測(cè)試 
C.14.1 根據(jù)生產(chǎn)工藝要求，對(duì)潔凈廠房中需要微振控制的精密設(shè)備儀器或房間（區(qū)域），進(jìn)行微振控制設(shè)施的建造質(zhì)量進(jìn)行檢測(cè)。一般采用微振測(cè)試分析系統(tǒng)進(jìn)行測(cè)試，包括微振動(dòng)傳感器、專用儀器和計(jì)算機(jī)分析系統(tǒng)等。 
C.14.2 微振測(cè)試應(yīng)按下列要求分階段進(jìn)行。 
1、潔凈廠房建設(shè)場(chǎng)地的環(huán)境振動(dòng)測(cè)試，提供振動(dòng)設(shè)計(jì)的本底數(shù)據(jù)； 
2、建筑結(jié)構(gòu)振動(dòng)特性測(cè)試，在結(jié)構(gòu)工程施工完成后，按微振控制設(shè)計(jì)要求進(jìn)行測(cè)試，校核結(jié)構(gòu)建造質(zhì)量； 
3、精密設(shè)備儀器安裝地點(diǎn)環(huán)境振動(dòng)測(cè)試，在潔凈廠房中各種公用動(dòng)力設(shè)備安裝并試運(yùn)轉(zhuǎn)后，按潔凈廠房中除生產(chǎn)工藝設(shè)備外的所有設(shè)施、設(shè)備均已正常運(yùn)轉(zhuǎn)后進(jìn)行精密設(shè)備儀器安裝地點(diǎn)環(huán)境振動(dòng)測(cè)試，以最終校核、確定精密設(shè)備儀器和相關(guān)設(shè)施的微振控制措施； 
4、精密設(shè)備儀器的微振最終測(cè)試，在此類設(shè)備試運(yùn)轉(zhuǎn)后，按生產(chǎn)工藝要求的狀態(tài)進(jìn)行最終測(cè)試，檢查微振控制設(shè)施的整體建造質(zhì)量。 
C.15  靜電測(cè)試 
C.15.1 潔凈室（區(qū)）內(nèi)的地面、墻面和工作臺(tái)面等的表面導(dǎo)靜電性能的測(cè)試，應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求確定。宜采用高阻計(jì)進(jìn)行測(cè)試。 C.15.2 在表面導(dǎo)靜電測(cè)試表面上，按照與建設(shè)方商定的測(cè)量區(qū)域內(nèi)的檢測(cè)點(diǎn)，按圖C.15.2所示的測(cè)試裝置測(cè)量表面電阻和泄漏電阻。園柱形銅電極的直徑為d=60mm。重量為2.0kg，2個(gè)銅電極之間的距離≥900㎜。   圖C.15.2    表面導(dǎo)靜電性能測(cè)試裝置 1-高阻計(jì)，2-被測(cè)表面，3-園柱形銅電極，4-濕漬低。 
C.16  浮游菌、沉降菌的檢測(cè) 
C.16.1 根據(jù)生產(chǎn)工藝要求必須控制潔凈室（區(qū)）內(nèi)的微生物污染時(shí)，應(yīng)進(jìn)行潔凈室（區(qū)）內(nèi)空氣中微生物污染的檢測(cè)。微生物污染的檢測(cè)可在三種占用狀態(tài)中的任一種狀態(tài)進(jìn)行。宜采用浮游菌的測(cè)試方法和沉降菌的測(cè)試方法。 
C.16.2 浮游菌的測(cè)試方法是通過采樣器采集在空氣中的活微生物粒子，通過專門的培養(yǎng)基，在適宜的生長(zhǎng)條件下繁殖到可見的菌落數(shù)。浮游菌的測(cè)試方法應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《醫(yī)藥工業(yè)潔凈室（區(qū)）浮游菌的測(cè)試方法》GB/T16293的要求。 
C.16.3 沉降菌的測(cè)試方法是通過培養(yǎng)皿收集到的活微生物粒子，通過專用的培養(yǎng)基，在適宜的生長(zhǎng)條件下繁殖到可見的菌落數(shù)。沉降菌的測(cè)試方法應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《醫(yī)藥工業(yè)潔凈室（區(qū)）沉降菌的測(cè)試方法》GB/T16294的要求。 
C.16.4 根據(jù)生產(chǎn)工藝要求必須控制潔凈室（區(qū)）內(nèi)的微生物活粒子時(shí)，還可進(jìn)行表面微生物污染測(cè)量，其測(cè)量方法參照ISO14698-1中的附錄C。