潔凈無塵室內(nèi)系統(tǒng)除了通稱的空調(diào)系統(tǒng)之外，制程設(shè)備也包括在內(nèi)，本節(jié)將對該二系統(tǒng)之運(yùn)轉(zhuǎn)維護(hù)及保養(yǎng)做一概略說明。
　　無塵室內(nèi)之生產(chǎn)制造設(shè)備注意之重點(diǎn)有三：
　　1.生產(chǎn)設(shè)備之選擇、布置與保養(yǎng)：
　　a.要選用發(fā)塵性較少的生產(chǎn)設(shè)備及相關(guān)設(shè)備，尤其須注意活動部分之發(fā)塵。
　　b.應(yīng)選擇塵埃之影響較小的生產(chǎn)設(shè)備或接口設(shè)備。
　　c.生產(chǎn)用之水、氣體、藥品等往往是造成污染的原因，故應(yīng)配備過濾裝置。
　　d.規(guī)劃各設(shè)備之配置空間時，事先宜考慮不易積累微塵之結(jié)構(gòu)，規(guī)劃各并以容易清潔為原則。
　　e.真空泵等容易產(chǎn)生污染物的這類設(shè)備，應(yīng)設(shè)置在無塵室外面或回風(fēng)區(qū)，并加裝排氣管線排氣。
　　f.設(shè)置給水管線、氣體管線和電氣系統(tǒng)時，其構(gòu)造須考慮到容易清潔，不易積累污染物。
　　g.生產(chǎn)及相關(guān)設(shè)備應(yīng)定期清掃，以避免微塵之堆積。
　　h.應(yīng)加強(qiáng)注意室內(nèi)的溫濕度控制，避免因濕度之不當(dāng)造成結(jié)露生銹。
　　i.當(dāng)設(shè)備維修時易產(chǎn)生微塵粒子，故維修時盡量于清潔室外進(jìn)行，并加隔離柵隔離。
　　j.對于施工或維修之廠商，應(yīng)告知進(jìn)出無塵室之各項規(guī)定，且負(fù)責(zé)工程師應(yīng)隨侍在側(cè)監(jiān)工。
　　k.應(yīng)有無塵室專用工具組，但不得帶出無塵室外使用。
　　l.規(guī)劃空間時若能臨近無塵室設(shè)立一間維修和設(shè)備保養(yǎng)手冊置放室，將是一理想之規(guī)劃。
　　2.生產(chǎn)設(shè)備之防塵措施：
　　a.磨損、切削均為發(fā)生微塵之原因，故需將發(fā)塵部分掩蓋之。
　　b.易產(chǎn)生塵埃之設(shè)備，若能的話應(yīng)布置于風(fēng)尾地點(diǎn)。
　　c.在操作時，盡量減少接觸零件或產(chǎn)品。
　　d.不得有太大或不必要的操作動作，以免卷起附近之灰塵。
　　e.各項廠務(wù)設(shè)施之供應(yīng)如水、氣體和化學(xué)品于進(jìn)入生產(chǎn)設(shè)備前應(yīng)有過濾設(shè)備。
　　f.為不使氣體或液體滯留，造成微污染，故管路配置應(yīng)有旁路閥之設(shè)置。
　　3.自動化與無塵化：
　　a.設(shè)立自動化傳送系統(tǒng)，可減少人員方面所帶來的污染，唯費(fèi)用相當(dāng)昂貴，須詳加評估。
　　b.建立管制項目如進(jìn)入無塵室人員的資格限定，無塵室作業(yè)人員作業(yè)規(guī)則，無塵室管理規(guī)則等，這些規(guī)則已在前面章節(jié)敘述，此處不再說明。
　　在無塵室之維護(hù)管理方面，可分三部分加以說明：
　　1.建筑物之維護(hù)管理：
　　a.建筑物內(nèi)定期檢查清潔。
　　b.地板之清掃管理及損壞更新。
　　c.隔間墻及天花板檢查清潔和封補(bǔ)。
　　d.窗戶及門之保養(yǎng)等。
　　2.環(huán)境測定與管理：
　　無塵室內(nèi)之運(yùn)轉(zhuǎn)環(huán)境狀況如溫、濕度及微塵粒子數(shù)應(yīng)每日定期量測，以確實掌握質(zhì)量，若有數(shù)據(jù)異常，可立即做緊急處理。
　　3.防塵空調(diào)設(shè)備之維護(hù)管理：
　　a.溫、濕度及塵埃濃度管理，在前面以述及，唯其量測儀器應(yīng)做定期校正檢驗，若有設(shè)備移動或施工時須做局部測量。
　　b.過濾網(wǎng)之管理：定期檢查及更換，表6為各種過濾網(wǎng)之檢查及更換周期。
　　c.空氣調(diào)節(jié)器管理：定期檢查隔板接縫及內(nèi)部污染狀況，冷熱盤管是否有腐蝕現(xiàn)象。
　d.送風(fēng)機(jī)之管理：定期檢查送風(fēng)機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)狀況。如表7所示為送風(fēng)機(jī)之各項檢查內(nèi)容及周期。
　　e.風(fēng)管及出風(fēng)口之管理：檢查風(fēng)管是否有腐蝕、污染、塵埃堆積或保溫脫落等。
　　f.測試及量測儀器管理：定期校正及保養(yǎng)。
　　g.室內(nèi)壓力管理：連續(xù)監(jiān)視室內(nèi)壓力記錄，以維持正壓為基準(zhǔn)。
　　h.冷凍主機(jī)、泵浦、鍋爐及冷卻水塔之管理：定期檢查保養(yǎng)及記錄運(yùn)轉(zhuǎn)狀況及水質(zhì)變化分析，以調(diào)整加藥量等。
　　i.無塵室停止運(yùn)轉(zhuǎn)再開機(jī)要點(diǎn)管理：啟動后立即進(jìn)行微塵粒子之測試，須無塵室恢復(fù)穩(wěn)定正常時再開始作業(yè)。