臭氧通過(guò)高壓電離產(chǎn)生，所以潔凈無(wú)油、無(wú)水、無(wú)粉塵的氣源對(duì)臭氧發(fā)生器的運(yùn)行至關(guān)重要。還可以通過(guò)氧氣富集提高臭氧濃度，所以臭氧發(fā)生器氣源分為空氣源、富氧源（現(xiàn)場(chǎng)制90%純度氧氣）、純氧源（購(gòu)買(mǎi)工業(yè)氧氣或液態(tài)氧）三種。同時(shí)臭氧發(fā)生器在運(yùn)行過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生大量的熱量，需要通過(guò)冷卻水裝置將熱量帶走，為了防止不合格冷卻水對(duì)臭氧發(fā)生器造成污染及腐蝕，一般會(huì)配置板式換熱裝置，來(lái)保證臭氧發(fā)生器的長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。
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