工程驗收 
基本規(guī)定 
14.1.1 潔凈廠房工程施工完成后應進行工程驗收，以確認各項性能參數(shù)符合設計、使用和相關(guān)標準規(guī)范的要求。 
14.1.2 竣工驗收應由建設單位負責，組織施工、設計、監(jiān)理等單位進行驗收。 
14.1.3 功能驗收應在竣工驗收完成后進行，由建設單位負責，并由具有相應檢測資質(zhì)的第三方進行檢測。設計、施工單位配合。 
14.1.4 使用驗收應在功能驗收完成后進行，由建設單位負責，可由具有相應檢測資質(zhì)的第三方或由建設單位與第三方共同進行測試。設計、施工單位配合。 
14.1.5 潔凈廠房工程驗收的檢測狀態(tài)分為空態(tài)、靜態(tài)和動態(tài)。竣工驗收階段的檢測宜在空態(tài)或靜態(tài)下進行，應由建設方、設計方和施工方協(xié)商確定，一般是在空態(tài)下進行；功能驗收階段的檢測應在靜態(tài)下進行；使用驗收階段的檢測應在動態(tài)進行。  
潔凈廠房的測試 
14.2.1 潔凈廠房的工程驗收中，在進行各項性能檢測之前，凈化空調(diào)系統(tǒng)等均應達到穩(wěn)定運行狀態(tài)。 
14.2.2 檢測用儀器儀表均應經(jīng)過具有相應資質(zhì)的單位進行標定，并在標定有效期內(nèi)。 
14.2.3 潔凈廠房測試應按工程驗收階段分段進行?？⒐を炇针A段的檢測是確認各項設施符合工程設計和合同的要求；功能驗收階段的檢測是確認各項設施均能有效、可靠的運行；使用驗收階段的檢測是按建設方規(guī)定的生產(chǎn)工藝和“動態(tài)”活動要求，確認各項設施的有效、可靠的運行。 
14.2.4 潔凈廠房性能測試項目見表
14.2.4具體工程項目的性能測試清單、測試順序等見附錄B。
表14.2.4   潔凈廠房性能測試項目 序號    測試項目    單向流    非單向流    測試方法    測試儀器
 1    空氣潔凈度等級    檢測    檢測         
2    風量    檢測    檢測        
 3    平均風速    檢測    n        
 4    風速不均勻度    必要時測    n        
 5    靜壓差    檢測    檢測         
6    過濾器安裝后的檢漏    檢測    檢測         
7    超微粒子    必要時測    必要時測         
8    宏粒子    必要時測    必要時測         
9    氣流目測    檢測    檢測         
10    浮游菌、沉降菌    必要時測    必要時測         
11    溫度    檢測    檢測         
12    相對濕度    檢測    檢測         
13    照度    檢測         
14    照度均勻度    必要時測         
15    噪聲    檢測         
16    微振動    必要時測         
17    靜電測試    必要時測         
18    自凈時間    n    檢測         
19    粒子沉降測試    必要時測         
20    密閉性測試    檢測    n         
注：n表示不檢測 
14.2.5 空氣潔凈度等級的檢測是對粒徑分布在0.1μm至5.0μm之間的懸浮粒子的粒徑和濃度進行測試，空氣潔凈度等級應符合設計和建設方的要求。對于超微粒子（<0.1μm）、宏粒子（>5.0μm）的測試結(jié)果，應根據(jù)業(yè)主或設計要求確定。 
檢測方法：附錄B。 檢測數(shù)量：全數(shù)檢查。 
14.2.6 根據(jù)生產(chǎn)工藝要求，應進行潔凈室內(nèi)浮游菌、沉降菌的檢測。 檢測方法：附錄B。 檢測數(shù)量：全數(shù)檢查。 
14.2.7 風量和風速的測試，對單向流潔凈室的送風量是以測試的平均送風速度乘以送風截面積確定；非單向流潔凈室的送風量可采用直接測試或測出風口風速乘以出風截面積確定。 單向流潔凈室以送風平均速度、非單向流潔凈室以送風量計算得到的換氣次數(shù)。 檢測方法：測試方法見附錄B。 檢測數(shù)量：按房間或區(qū)域，全數(shù)檢查。 
14.2.8 壓差測試，為檢驗潔凈室（區(qū)）與其周圍環(huán)境之間的規(guī)定靜壓差，應在潔凈室（區(qū)）的風速、風量和送風均勻性檢測合格后進行靜壓差測試。 檢測方法：測試方法見附錄B。 檢測數(shù)量：按房間或區(qū)域，全數(shù)檢查。 
14.2.9 空氣過濾器安裝后的檢漏，為檢驗潔凈室（區(qū)）的高效空氣過濾器的完好性和安裝質(zhì)量，在安裝后的空氣過濾器的上風測引入測試氣溶膠，并及時在送風口和過濾器周邊、外框與安裝框架之間的密封處進行掃描檢漏。檢漏測試可在“空態(tài)”或“靜態(tài)”進行。 檢測方法：測試方法見附錄B。 檢測數(shù)量：按空氣潔凈度等級和建設方要求確定，抽檢數(shù)量不低于30%。 
14.2.10 為確認潔凈室（區(qū)）的氣流流型和氣流方向，在上述檢測達到要求后進行氣流流型檢測。 檢測方法：見附錄B。 檢測數(shù)量：單向流、混合流潔凈室（區(qū)）抽檢50%以上，非單向流潔凈室（區(qū)）抽檢30%以上。 
14.2.11 為確認凈化空調(diào)系統(tǒng)對潔凈室（區(qū)）的溫度、相對濕度的控制能力，應在凈化空調(diào)系統(tǒng)連續(xù)、穩(wěn)定運行后進行檢測，達到設計要求。 檢測方法：見附錄B。 檢測數(shù)量：按房間或區(qū)域，全數(shù)檢查。 
14.2.12 對于空氣潔凈度等級嚴于5級的潔凈室（區(qū)），應對圍護結(jié)構(gòu)進行密閉性測試，以確認有無被污染的空氣從相鄰潔凈室（區(qū)）或非潔凈室（區(qū)）通過吊頂、隔墻或門窗滲漏進入潔凈室（區(qū)）。 檢測方法：見附錄B。 檢測數(shù)量：抽檢30%以上。 
14.2.13 潔凈室（區(qū)）內(nèi)的噪聲測試，應在“空態(tài)”或與建設單位協(xié)商的狀態(tài)下進行檢測，室內(nèi)噪聲達到標準規(guī)定值。 檢測方法：見附錄B。 檢測數(shù)量：按房間或區(qū)域，全數(shù)檢查。 
14.2.14 潔凈室（區(qū)）的照度測試，應在室內(nèi)溫度穩(wěn)定和光源光穩(wěn)定狀態(tài)下進行，室內(nèi)照度值達到設計要求。 檢測方法：見附錄B。 檢測數(shù)量：按房間或區(qū)域，全數(shù)檢查。 
14.2.15 對于非單向流潔凈室，應進行自凈時間的檢測。 檢測方法：見附錄B。 檢測數(shù)量：按房間或區(qū)域，全數(shù)檢查。 
14.2.16 當潔凈廠房中設有需微振控制的精密設備儀器時，應對微振控制設施的建造質(zhì)量進行檢測，達到設計要求。 檢測方法：見附錄B。 檢測數(shù)量：按房間或區(qū)域，全數(shù)檢查。 
14.2.17 根據(jù)生產(chǎn)工藝要求，應對潔凈室（區(qū)）的地面、墻面和工作臺面的表面導靜電性能進行檢測，達到標準或設計要求。 檢測方法：見附錄B。 檢測數(shù)量：按房間或區(qū)域，全數(shù)檢查。 
14.2.18 潔凈廠房的每項測試，均應編寫測試報告，其主要內(nèi)容有； 
1 測試單位的名稱、地址，測試人和測試日期； 
2 所測設施名稱及毗鄰區(qū)域的名稱和測試的位置、座標； 
3 設施 類型及相關(guān)參數(shù)； 
4 測試項目的性能參數(shù)、標準，包括占用狀態(tài)等； 
5 所采用的測試方法、測試儀器及其相關(guān)的說明文件； 
6 測試結(jié)果，包括測試記錄、分析意見； 
7 結(jié)論。    
竣工驗收 
14.3.1 潔凈廠房的竣工工驗收，是在各分部單機試車，無生產(chǎn)負荷系統(tǒng)試車自檢合格后進行?？⒐を炇盏膬?nèi)容是對各分部工程的單機試車和無生產(chǎn)負荷系統(tǒng)試車的核查，潔凈室（區(qū)）性能參數(shù)檢測和調(diào)試、各分部觀感質(zhì)量核查，建設方要求的檢測和調(diào)試內(nèi)容。 
14.3.2 潔凈廠房竣工驗收時，應認真檢查竣工驗收的資料，一般包括下列文件及記錄： 
1 圖紙會審記錄、設計變更通知書和竣工圖； 
2 各分部工程的主要設備、材料和儀器儀表的出廠合格證明及進場檢驗報告； 
3 各分部工程的單機設備、系統(tǒng)安裝及檢驗記錄； 
4 各分部單機試運轉(zhuǎn)記錄； 
5 各分部工程、系統(tǒng)無負荷試運轉(zhuǎn)與調(diào)試記錄； 
6 各類管線試驗、檢查記錄； 
7 各分部工程的安全設施的檢驗和調(diào)試記錄； 
8 各分部工程的質(zhì)量驗收記錄。 
14.3.3 潔凈廠房內(nèi)各分部工程的觀感質(zhì)量核查，應符合本規(guī)范5～13章的相關(guān)規(guī)定。 檢測方法：觀察檢查、尺量。 檢測數(shù)量：各分部按系統(tǒng)抽查20%，且不得少于1個系統(tǒng)；各類設備、部件、儀表和閥門等，按數(shù)量抽查20%，且不得少于1臺或10件。 
14.3.4 各分部工程的各類設備單機試車的核查，應符合本規(guī)范5～12章的相關(guān)規(guī)定。 檢測方法：按5～12章的相關(guān)方法。 檢測數(shù)量：按數(shù)量每種單機抽查20%，且不得少于1臺。 
14.3.5 各分部工程的各類系統(tǒng)的單機試車核查合格后，應進行無生產(chǎn)負荷的穩(wěn)定運行核查，并應符合本規(guī)范5~12章的相關(guān)規(guī)定。 檢測方法：按5~12章的相關(guān)方法。 檢測數(shù)量：每一分部按系統(tǒng)抽查20%，且不得少于1個系統(tǒng)。 
14.3.6 潔凈廠房竣工驗收的主要測試內(nèi)容如下： 
1 氣流目測； 
2 風速和風量測試； 
3 空氣過濾器的檢漏； 
4 潔凈室（區(qū)）的密閉性測試； 
5 房間之間的靜壓差測試； 
6 空氣潔凈度等級； 
7 自凈時間； 
8 溫度、相對濕度； 
9 照度值； 
10 噪聲級； 
11 其他建設方需要進行的檢測項目。 
14.3.7 潔凈廠房竣工驗收后，應由施工方編寫竣工驗收報告，其主要內(nèi)容除外還有： 
1 觀感核查記錄； 
2 分項測試記錄及分析意見（包括測試點位置、座標等）； 
3 測試儀器的有效校驗證書； 
4 結(jié)論。  
功能驗收 
14.4.1 潔凈廠房的功能驗收是經(jīng)過規(guī)定的檢測和調(diào)試，確認潔凈室（區(qū)）功能參數(shù)都能有效的滿足產(chǎn)品生產(chǎn)運行的要求。 
14.4.2 潔凈廠房的竣工驗收合格，并經(jīng)核實批準后，按建設方要求進行功能驗收，功能驗收是在“靜態(tài)”進行測試，其主要測試內(nèi)容如下： 
1 檢測空氣潔凈度等級； 
2 生產(chǎn)工藝有要求者，還應進行微生物測試或化學污染物測試或特殊表面的潔凈度測試； 
3 潔凈室（區(qū)）的溫度、相對濕度的穩(wěn)定性測試； 
4 檢測自凈時間； 
5 檢測潔凈室（區(qū)）的密閉性測試； 
6 測定照度； 
7 測定噪聲級； 
8 需要時，確認和記錄氣流形式和換氣次數(shù)； 
9 建設方需要進行的其他檢測項目。 
14.4.3 潔凈廠房的功能驗收后，應由建設方或建設方指定的相關(guān)單位編寫驗收報告，其主要內(nèi)容有： 
1 潔凈廠房中各種設施的開啟狀態(tài)描述； 
2 分項測試記錄及分析意見（包括測試點位置、座標等）； 
3 測試儀器的有效校驗證書； 
4 結(jié)論。 
14.5   使用驗收 
14.5.1 潔凈廠房的使用驗收是在建設單位規(guī)定的使用狀態(tài)下進行檢測和調(diào)試，確認潔凈室（區(qū)）的動態(tài)性能參數(shù)都能有效的滿足使用要求。 
14.5.2 使用驗收的主要檢測內(nèi)容有： 
1 檢測空氣潔凈度等級； 
2 生產(chǎn)工藝有要求者，還應進行微生物測試或化學污染物測試或特殊表面的潔凈度測試； 
3 溫度、相對濕度的穩(wěn)定性測試； 
4 確認潔凈室（區(qū)）的隔離性能； 
5 建設方需要進行的其他檢測項目。 
14.5.3 潔凈廠房使用驗收后，應由建設方或建設方指定的相關(guān)單位編寫使用驗收報告，其主要內(nèi)容有： 
1 潔凈廠房中各種設施（包括生產(chǎn)工藝設備）等的開啟狀態(tài)描述； 
2 測試的潔凈室（區(qū)）人員及其活動情況的描述； 
3 分項測試記錄及分析意見（包括測試點位置、座標等）； 
4 測試儀器的有效校驗證書； 
5 結(jié)論。   
附錄A   潔凈廠房總主要施工程序 
A.0.1 潔凈廠房的施工安裝內(nèi)容主要有：建筑裝飾、凈化空調(diào)系統(tǒng)、各動力公用和安全設施以及各種配管配線等；潔凈廠房的施工安裝應根據(jù)具體工程特點，使用功能，還應安排好相關(guān)生產(chǎn)工藝設備的安裝和二次配管配線的安裝。 
A.0.2 潔凈廠房的施工安裝程序中，應根據(jù)具體工程情況、復雜程度等因素，必要時應進行二次潔凈室裝飾設計或二次配管配線設計等。 
A.0.3 潔凈廠房的施工安裝需各專業(yè)、多工種密切配合，按具體工程實際情況，制定施工安裝程序和計劃進度，循環(huán)漸進地完成潔凈廠房的施工建造。
圖A.0.3是潔凈廠房的主要施工程序圖示。 
圖A.0.3 潔凈廠房的主要施工程序圖示 。
附錄B  性能測試清單和測試順序
B.0.1  性能測試項目和順序的選擇，應根據(jù)具體工程的規(guī)模、空氣潔凈度等級、生產(chǎn)工藝要求及布置情況、凈化空調(diào)設施等因素確定，并應由建設方、施工方協(xié)商一致填寫簽署表B.0.1。 
表B.0.1   潔凈廠房性能測試項目和順序清單 選擇測試 順序    測試內(nèi)容    測試程序參照條款    選擇測試儀器    測試儀器   懸浮粒子    
2、在第4列中，測試可按所選的測試方法選擇測試儀器。   
附錄C    測試方法 
C.1  空氣潔凈度等級測試 
C.1.1 空氣潔凈度等級的測試一般采用粒子計數(shù)器，采樣量應大于1L/ min。測試粒徑大于等于0.5μm粒子時，宜采用光散射粒子計數(shù)器；測試粒徑大于等于0.1的粒子時，宜采用大流量激光粒子計數(shù)器（采樣量每分鐘28.3L）；測試粒徑小于0.1μm的超微粒子時，宜采用凝聚核激光粒子計數(shù)器。 
C.1.2 潔凈度等級測試前，應先進行風速，風量、靜壓差、過濾器檢漏和圍護結(jié)構(gòu)密閉性檢測。 
C.1.3 采樣點確定 
C.1.3.1 應下式計算最少采樣點                                    
（C.1.3） 式中 ——最少采樣點，四舍五入取整數(shù)；——潔凈室（區(qū)）的面積。在水平單向流時，指與氣流方向垂直的流動空氣的截面積。以㎡計。 
C.1.3.2 采樣點應均勻分布于潔凈室（區(qū)）的面積內(nèi)，并位于工作區(qū)高度。 
C.1.4 每次采樣的最少采樣量 
C.1.4.1 每個采樣點的每次采樣量（VS）應按下式計算：                                    
（C.1.4） 式中： ——被測潔凈室（區(qū)）空氣潔凈度等級被測粒徑的允許限值（個/m3）； 20——在規(guī)定被測粒徑粒子的空氣潔凈度限值時，可檢測到的粒子數(shù)。 
C.1.4.2 每個采樣點的采樣量至少為2L，采樣時間最少為1min，當潔凈室（區(qū)）僅有1個采樣點時，則在該點至少采樣3次。     當Vs很大時，采樣時間會很長，可參照采用ISO14644-1附錄F中規(guī)定的順序采樣法。 
C.1.5 對于單向流潔凈室，采樣口應對著氣流方向，對于非單向流潔凈室，采樣口宜向上。采樣速度宜接近室內(nèi)氣流速度。 
C.1.6 室內(nèi)測試人員必須穿潔凈服，不得超過3人，應位于測試點下風側(cè)并遠離測試點，并應保持靜止。進行換點操作時動作要輕，應減少人員對室內(nèi)潔凈度的干擾。 
C.1.7 每個采樣次數(shù)為2次或2次以上的采樣點，應按式C.1.7計算平均粒子濃度。                                 
（C.1.7） 式中： ——采樣點i的平均粒子濃度，i可代表任何位置；    ——每次采樣的粒子濃度；  N——在采樣點i的采樣次數(shù)。 
C.1.8 采樣點為1個時，應按式C.1.7計算該點平均粒子濃度。采樣點為10個或10個以上時，按式C.1.7計算各點的平均濃度后，再按式C.1.8計算潔凈室（區(qū)）總平均值。                                
（C.1.8） 式中：  ——各采樣點平均值的總平均值；   ——按式C.1.7計算的各個采樣點的平均值，既潔凈室（區(qū)）總平均值；       m——采樣點的總數(shù)。 
C.1.9 置信上限（UCL）的計算 
C.1.9.1 當采樣點只有1個或多于9個時，不計算95%置信上限。 
C.1.9.2 采樣點為1個以上10個以下時，根據(jù)式C.1.8計算出各采樣點平均值和總平均值后，還應按式C.1.9.1計算出總平均值的標準偏差（S）。 （C.1.9-1） 
C.1.9.3 最后按式B.1.9-2計算出總平均值的95%置信上限（UCL）。  （C.1.9-2） 式中t——分布系數(shù)，見表B.1.9。 表C.1.9    95%置信上限（UCL）的t分布系數(shù) 采樣點數(shù)（m）    2    3    4    5    6    7～9 t    6.3    2.9    2.4    2.1    2.0    1.9 
C.1.9.4   如果每個采樣點測得粒子濃度的平均值 以及潔凈室總平均值95%置信上限均未超過空氣潔凈度等級的濃度限值，則認為該潔凈室（區(qū)）已達到規(guī)定的空氣潔凈度等級。 如果測試結(jié)果未能滿足規(guī)定的空氣潔凈度等級，可增加均勻分布的新采樣點進行測試，對包括新增采樣點數(shù)據(jù)在內(nèi)的所有數(shù)據(jù)重新計算的結(jié)果，作為最終檢驗結(jié)果。 
C.1.10 空氣潔凈度等級計算例 
C.1.10.1 被測潔凈室面積（區(qū)）為1000m2，空氣潔凈度等級為ISO5級，規(guī)定受控粒子粒徑為0.3μm（D1）、0.5μm（D2）。根據(jù)測試結(jié)果確定在動態(tài)下是否符合規(guī)定的懸浮粒子允許濃度限值。 
⑴ 規(guī)定的粒徑均在現(xiàn)行標準ISO5級粒徑范圍，并符合D2≥1.5D1的要求。 
⑵ 計算最大允許懸浮粒子濃度 對≥0.3μm的粒子：  ，取10200個/m3。 對≥0.5μm的粒子： 取3520個/m3。 
⑶ 按式（C.1.3）計算采樣點數(shù)量：  取32 由于采樣點數(shù)大于10，不計算95%置信上限。 
⑷ 采樣點每次采樣量（Vs），按式(B.1.4)計算   選用采樣量為28L/min的粒子計數(shù)器。這一選擇滿足：VS>2L、Cn.m>20個/m3的要求，其采樣時間≥1min。 
C.2  風速和風量測試 
C.2.1 風速測試儀器可使用熱球式風速計、超聲風速計、葉片式風速計等；風量測試可使用帶流量計的風罩、文丘里流量計、孔板流量計等。 
C.2.2 單向流設施的截面風速、面風速和風量測試 
C.2.2.1對單向流設施的風速測試，應將測試平面垂直于送風氣流，該測試平面距離高效空氣過濾器出風面150～300mm，宜采用300mm。將測試平面分成若干面積相等的柵格，柵格數(shù)量不少于測試截面面積（m2）的平方，測點在每個柵格的中心，全部測點不少于3點。 直接測量過濾器面風速時，測點距離過濾器出風面為150mm。將測試面劃分為面積相等的柵格，每個柵格尺寸為600mm×600mm或更小，測點在每個柵格的中心。 每一點的持續(xù)測試時間至少為10秒，記錄最大值、最小值和平均值。 單向流潔凈室（區(qū)）的總送風量（Qt），應按式（C.2.2）計算：   （m3/h）   （C.2.2） 式中： ——每個柵格的平均風速（m/s）；     A——每個柵格的面積（㎡）。 
C2.2.2 對單向流設施的風速分布測試，一般選取工作面高度為測試平面，平面上劃分的柵格數(shù)量不少于測試截面面積（m2）的平方，測點在每個柵格的中心。 風速分布的不均勻度β０按下列公式計算，一般不應大于０.25 β０= s/v 式中　v——各測點風速的平均值；  s——標準差。 風速分布測試宜于空態(tài)測試，當安裝好工藝設備和工作臺時，在其附近測得的數(shù)據(jù)可能不能反映潔凈室本身的特點。 
C.2.3 對非單向流設施的風速、風量的測試 
C.2.3.1 風口法測試風速、風量 在每個測點的持續(xù)測試時間至少為10秒，以得到有代表性的平均值。, 每個空氣過濾器或送風散流器的風速、風量測試，可參照C.2.2.1中面風速及風量的測試和計算方法。 
C.2.3.2 風管法測試風量  對于高效空氣過濾器或散流器風口上風側(cè)有較長的支風管段，且已有預留孔時，可以采用風管法測試風量，測量斷面應位于大于或等于局部阻力部件前3倍管徑或長邊長和局部阻力部件后5倍管徑或長邊長的部位。 矩形風管的測試斷面，應劃分為若干個相等的小截面，每個小截面宜為正方形，邊長不應大于200mm，測點位于小截面中心，但測點數(shù)不少于3點；園形風管的測試斷面，應根據(jù)管徑大小劃分為若干個面積相同的同心園環(huán)，每個園環(huán)測4點，園環(huán)數(shù)不宜少于3個。
C.2.3.3 風罩法測試風量，使用帶有流量計的風罩測量空氣過濾器的送風量時，風罩的開口應全部罩住空氣過濾器或散流器，風罩面應固定在平整的平面上，避免空氣泄漏造成讀數(shù)不準確。 若在高效空氣過濾器或散流器風口的上風側(cè)已安裝有文丘里或孔板流量裝置時，可利用該流量計直接測量風量。 
C.3  靜壓差的測試 
C.3.1 靜壓差的測試可采用電子壓差計、斜管微壓計或機械式壓差計。 
C.3.2 在進行靜壓差檢測之前，應確定潔凈室送、排風量均符合設計要求。 
C.3.3 靜壓差測試時應關(guān)閉潔凈區(qū)內(nèi)所有的門，從潔凈區(qū)最里面的房間開始向外依次檢測。檢測時應注意使測試管的管口不受氣流影響。 
C.4  空氣過濾器安裝后的檢漏 
C.4.1 高效空氣過濾器安裝后的檢漏是確認安裝質(zhì)量，檢測高效空氣過濾器送風口的整個面，過濾器的周邊，過濾器外框和安裝框架之間的密封處。檢漏時，從過濾器的上風側(cè)引入測試氣溶膠，并立即在其下風側(cè)進行掃描。該項測試一般在潔凈室（區(qū)）的“空態(tài)”或“靜態(tài)”進行。 
C.4, .2 高效空氣過濾器安裝后的檢漏方法有光度計法和粒子計數(shù)器法。光度計法一般用于帶小型空氣處理系統(tǒng)的潔凈室或安裝有氣溶膠注入點的管路系統(tǒng)，可達到規(guī)定的高濃度測試氣溶膠；由于粒子計數(shù)器法的靈敏性好和污染少，一般都采用粒子計數(shù)器法進行高效空氣過濾器安裝后的檢漏。 
C.4.3 采用光度計法進行掃描檢漏時，被測試的過濾器的最高穿透粒徑的穿透率等于或大于0.005%。所采用的測試氣溶膠不應對潔凈室（區(qū)）內(nèi)的產(chǎn)品或工藝設施帶來影響。 在進行光度計法檢漏前，被測試過濾器應在額定風速的80%至120%與之間運行，并確認其送風的均勻性。 被測試過濾器的上風向引入的氣溶膠的濃度應為10mg/m3至100 mg/m3。濃度低于20 mg/m3時，將會降低檢漏的靈敏度，而濃度高于80 mg/m3時，若長時間測試會造成過濾器的污堵。在過濾器檢漏前應確認氣溶膠的濃度和均勻性。 檢漏掃描時，若采用3cm×3cm方形探管，掃描速度不得超過5cm/s，矩形探管的最大面積掃描率不得超過15C㎡/s。在掃描過程中，若顯示有等于或大于限值的泄漏時，則應將探管停留在泄漏處。高效空氣過濾器的泄漏限值是指超過上風向測試氣溶膠濃度10-4的泄漏，或與業(yè)主協(xié)商確定。 
C.4.4  采用粒子計數(shù)器法進行掃描檢漏時，被測試的空氣過濾器最高穿透粒徑的穿透率大于或等于0.00005%。不允許采用可能沉積在過濾器或管道上的揮發(fā)性油光塵的測試用氣溶膠。 在進行粒子計數(shù)器檢漏前，被測試過濾器應在額定風速的70%至130%之間運行，并確認其送風的均勻性。 被測試過濾器的上風側(cè)應引入濃度均勻的大氣塵或添加含有其他氣溶膠的空氣，使之達到所需的測試氣溶膠濃度。對微粒大于等于0.5μm時，測試氣溶膠的濃度應大于等于3.5×105C/m3；對于大于等于0.1μm的微粒，其濃度應大于等于3.5×109PC/m3。 檢漏掃描時，采樣口距離被測部位應小于5.0cm，以0.05m/s的速度移動。空氣高效過濾器下風側(cè)測試得到的泄漏濃度換算的透過率，不得大于該過濾器出廠合格透過率的3倍。 
C.4.5 安裝在管道或空氣處理機內(nèi)的高效空氣過濾器的檢漏，檢測可采用光度計法或粒子計數(shù)器法。用于安裝在管道或空氣處理機內(nèi)的最易穿透粒徑的穿透率大于0.005%的高效空氣過濾器的檢漏。 檢漏時，被檢測過濾器就在設計風速的70%~130%之間運行，并確認其送風均勻性。上風向引入的大氣塵或氣溶膠濃度應能滿足在下風向測試得到具有統(tǒng)計意義的讀數(shù)。 測試時，應將采樣口距離被測部位30cm至100cm處，在管道中應距管壁2.5cm，記錄實測的含塵濃度。 高效空氣過濾器檢漏的限值，采用光度計法時，不得超過10-4（0.01%）；采用粒子計數(shù)器法時，不得大于出廠合格透過率的3倍。 
C.5  氣流流型的檢測 
C.5.1 氣流流型的檢測包括氣流目測和氣流流向的測試。氣流目測可采用示蹤線法、發(fā)煙（霧）法和采用圖像處理技術(shù)等方法。氣流流向的測試一般采用示蹤線法、發(fā)煙（霧）法和三維法測量氣流速度等方法。 
C.5.2 采用示蹤線法時可采用尼龍單絲線、棉線、薄膜帶等輕質(zhì)纖維，放置在測試桿的末端，或裝在氣流中細絲格柵上，直接觀察出氣流的方向和因干擾引起的波動。 
C.5.3 采有發(fā)煙（霧）法時，可采用去離子水，用固態(tài)二氧化碳（干冰）或超聲波霧化器等生成直徑為0.5~50μm的水霧，采用四氯化鈦（TiCl4）作示蹤粒子時，應確保潔凈室、室內(nèi)設備以及操作人員不受四氯化鈦產(chǎn)生的酸傷害。 
C.5.4 采用圖像處理技術(shù)進行氣流目測時，由C.5.2得到的在攝像機或膜上的粒子圖像數(shù)據(jù)，利用二維空氣流速度矢量提供量化的氣流特性。圖像處理技術(shù)要求帶有適用的接口和軟件的數(shù)字計算機。 
C.5.5 采用三維法測量氣流速度、采用熱球風速計或超聲風速計，檢測點選擇在關(guān)鍵工作區(qū)及其工作面高度。根據(jù)建設方要求需進行潔凈室（區(qū)）的氣流方向的均勻分布測試時，應進行多點測試，其測試點的選擇宜參照C.2中的方法選用。 
C.6  溫度的檢測 
C.6.1 溫度測試是確認空氣處理設施的溫度控制能力。潔凈室（區(qū)）的溫度測試可分為一般溫度測試和功能溫度測試。一般溫度測試主要適用于“空態(tài)”時的潔凈室（區(qū)）溫度測試，功能溫度測試主要用于潔凈室（區(qū)）需嚴格控制溫度精度時或建設方要求在“靜態(tài)”或“動態(tài)”進行測試時應用。 
C.6.2 溫度測試可采用玻璃溫度計、電阻溫度檢測裝置、數(shù)字式溫度計等。 
C.6.3 溫度測試應在潔凈室（區(qū)）進行調(diào)試，氣流均勻性測試完成，并在凈化空調(diào)系統(tǒng)連續(xù)運行24h以上后進行。 
C.6.4 一般溫度測試的測點，每個溫度控制區(qū)或每個房間1個測點，測試點高度宜為工作面高度。測量時間應至少1.0h，并至少6min測量一次，讀數(shù)穩(wěn)定后作好記錄。 
C.6.5  功能溫度測試，應將潔凈工作區(qū)劃分為等面積的柵格，每個分格的面積不超過100㎡或與建設方協(xié)商確定，每格測點1個以上，每個房間測點至少2個。 測試高度應為工作面高度，距潔凈室（區(qū)）的吊頂、墻面和地面不小于300mm，并應考慮熱源等的影響。測量時間應至少1.0h，并至少6min測量一次，讀數(shù)穩(wěn)定后作好記錄。 
C.7  相對濕度的檢測 
C.7.1 相對濕度測試是確認空氣處理設施的濕度控制能力。濕度測試時潔凈室（區(qū)）狀態(tài)見C.6.3。 
C.7.2 濕度測試可采用通風干濕球溫度計、數(shù)字式溫濕度計、電容式濕度計、毛發(fā)式濕度儀器。 
C.7.3 相對濕度測試的測點，測試時間、頻度與溫度測試相同，宜一同測試。 
C.8  密閉性測試 
C.8.1 本測試用于確認有無被污染的空氣從相鄰潔凈室（區(qū)）或非潔凈室（區(qū)）通過吊頂、隔墻等表面或門、窗滲漏入潔凈室（區(qū)）。一般適用于1級至5級的潔凈室（區(qū)）進行測試。采用光度計法和粒子計數(shù)器法進行測試。 
C.8.2 采用粒子計數(shù)器法時，測量被評價的表面的潔凈室（區(qū)）外部的空氣中懸浮粒子濃度，應比潔凈室（區(qū)）內(nèi)的濃度大一個104的倍數(shù)，并至少大于等于3.5×106/m3待測粒徑；若其空氣中懸浮粒子濃度小于該值，應添加氣溶膠提高濃度。     粒子計數(shù)器掃描時，儀器應距離潔凈室（區(qū)）內(nèi)待測試的接縫密封處或嚙合面5~10cm；掃描速度5cm/s。對敞開的門廊處的測試，應在距離潔凈室（區(qū)）內(nèi)敞開的門0.3~3.0m處檢測空氣中懸浮粒子濃度。 
C.8.3 采用光度計法時，測量被評價的表面的潔凈室（區(qū)）外部的空氣中懸浮粒子濃度高于光度計按0.1%設定值的負載，若光度計為0.1%刻度值的讀數(shù)超過0.01%就表明有滲漏。 
C.9  噪聲測試 
C.9.1 噪聲測試宜采用倍頻程噪聲分析儀，一般檢測A聲壓級的數(shù)據(jù)。潔凈室（區(qū)）噪聲測試狀態(tài)為空態(tài)或與建設方協(xié)商確定。 
C.9.2 噪聲測試點應在工作面高度進行，一般宜為距地面1.2~1.5m。測試點數(shù)量可按每100㎡潔凈室（區(qū)）面積一個點計算，但每個房間至少1點。 
C.10  照度的測試 
C.10.1 照度測試宜采用便攜式數(shù)字照度計。 
C.10.2 潔凈室（區(qū)）照度的檢測應在室內(nèi)溫度穩(wěn)定和光源光輸出穩(wěn)定的狀態(tài)后進行；對新熒光燈區(qū)應使用100h以上，并在點燃15min后進行測試。 
C.10.3 潔凈室（區(qū)）照度的檢測只測試一般照明，不包括局部照明、應急照明等。 
C.10.4 照度測試點應選擇在工作面高度進行，一般宜為0.85m，通道測試高度宜為0.2m；測試點數(shù)量可按每50㎡潔凈室（區(qū)）面積一個點計算，但每個房間不得少于1點。  
C.11  自凈時間 
C.11.1 潔凈室的自凈時間檢測通常只適用于非單向流潔凈室，一般以大氣塵或煙霧發(fā)生器等人工塵源為基準，采用粒子計數(shù)器測試。 
C.11.2 首先應測量潔凈室內(nèi)靠近回風口處穩(wěn)定的含塵濃度（N）。 如果以大氣塵為基準，則必須將潔凈室停止運行相當時間，在室內(nèi)含塵濃度已接近于大氣濃度時，測出潔凈室內(nèi)靠近回風口處的含塵濃度（N0）。然后開, 機，定時讀數(shù)（一般可設置每間隔6s讀數(shù)一次），直到回風口處的含塵濃度回復到原來的穩(wěn)定狀態(tài)，記錄下所需的時間（t）。 以人工塵源為基準時，應將煙霧發(fā)生器（如巴蘭香煙）放置在地面上1.8m以上室中心，發(fā)煙1~2min后停止，等待1min測出潔凈室內(nèi)靠近回風口處的含塵濃度（N0）。然后開機，方法同上。 
C.11.3  由初始濃度（N0），室內(nèi)達到穩(wěn)定的濃度（N），實際換氣次數(shù)（n），可得到計算自凈時間（t0），與實測自凈時間（t）進行對比，一般的，如果t≤1.2t0,為合格。 
C.11.4  潔凈室的自凈性能還可以采用粒子濃度變化率評估，或者直接測量潔凈室的100:1-自凈時間進行評估，具體方法可參照ISO14644-3中的B.13。   
C.12  超微粒子的測試 
C.12.1 對潔凈室（區(qū)）內(nèi)粒徑小于0.1μm的超微粒子的測試，可在三種占用狀態(tài)中的任一種狀態(tài)下進行測試。 
C.12.2 超微粒子的測試，宜采用凝聚核粒子計數(shù)器進行；其采樣點和采樣流量可按C.1的要求進行。具體方法參照ISO14644-3中的B.2。 
C.13  宏粒子的測試 
B.13.1 對潔凈室（區(qū)）內(nèi)粒徑大于5μm的宏粒子的測試，可在三種占用狀態(tài)中的任一種狀態(tài)下進行測試。 
B.13.2 宏粒子的測試，宜采用過濾法、粒子計數(shù)器計數(shù)法等進行測量，其采樣點、采樣流量可按C.1的要求進行。具體方法參照ISO14644-3中的B.3。 
C.14  微振測試 
C.14.1 根據(jù)生產(chǎn)工藝要求，對潔凈廠房中需要微振控制的精密設備儀器或房間（區(qū)域），進行微振控制設施的建造質(zhì)量進行檢測。一般采用微振測試分析系統(tǒng)進行測試，包括微振動傳感器、專用儀器和計算機分析系統(tǒng)等。 
C.14.2 微振測試應按下列要求分階段進行。 
1、潔凈廠房建設場地的環(huán)境振動測試，提供振動設計的本底數(shù)據(jù)； 
2、建筑結(jié)構(gòu)振動特性測試，在結(jié)構(gòu)工程施工完成后，按微振控制設計要求進行測試，校核結(jié)構(gòu)建造質(zhì)量； 
3、精密設備儀器安裝地點環(huán)境振動測試，在潔凈廠房中各種公用動力設備安裝并試運轉(zhuǎn)后，按潔凈廠房中除生產(chǎn)工藝設備外的所有設施、設備均已正常運轉(zhuǎn)后進行精密設備儀器安裝地點環(huán)境振動測試，以最終校核、確定精密設備儀器和相關(guān)設施的微振控制措施； 
4、精密設備儀器的微振最終測試，在此類設備試運轉(zhuǎn)后，按生產(chǎn)工藝要求的狀態(tài)進行最終測試，檢查微振控制設施的整體建造質(zhì)量。 
C.15  靜電測試 
C.15.1 潔凈室（區(qū)）內(nèi)的地面、墻面和工作臺面等的表面導靜電性能的測試，應根據(jù)生產(chǎn)工藝要求確定。宜采用高阻計進行測試。 C.15.2 在表面導靜電測試表面上，按照與建設方商定的測量區(qū)域內(nèi)的檢測點，按圖C.15.2所示的測試裝置測量表面電阻和泄漏電阻。園柱形銅電極的直徑為d=60mm。重量為2.0kg，2個銅電極之間的距離≥900㎜。   圖C.15.2    表面導靜電性能測試裝置 1-高阻計，2-被測表面，3-園柱形銅電極，4-濕漬低。 
C.16  浮游菌、沉降菌的檢測 
C.16.1 根據(jù)生產(chǎn)工藝要求必須控制潔凈室（區(qū)）內(nèi)的微生物污染時，應進行潔凈室（區(qū)）內(nèi)空氣中微生物污染的檢測。微生物污染的檢測可在三種占用狀態(tài)中的任一種狀態(tài)進行。宜采用浮游菌的測試方法和沉降菌的測試方法。 
C.16.2 浮游菌的測試方法是通過采樣器采集在空氣中的活微生物粒子，通過專門的培養(yǎng)基，在適宜的生長條件下繁殖到可見的菌落數(shù)。浮游菌的測試方法應符合現(xiàn)行國家標準《醫(yī)藥工業(yè)潔凈室（區(qū)）浮游菌的測試方法》GB/T16293的要求。 
C.16.3 沉降菌的測試方法是通過培養(yǎng)皿收集到的活微生物粒子，通過專用的培養(yǎng)基，在適宜的生長條件下繁殖到可見的菌落數(shù)。沉降菌的測試方法應符合現(xiàn)行國家標準《醫(yī)藥工業(yè)潔凈室（區(qū)）沉降菌的測試方法》GB/T16294的要求。 
C.16.4 根據(jù)生產(chǎn)工藝要求必須控制潔凈室（區(qū)）內(nèi)的微生物活粒子時，還可進行表面微生物污染測量，其測量方法參照ISO14698-1中的附錄C。