臭氧的人工生產(chǎn)早在1857年德國人吉門斯就研制出其發(fā)生裝置。但由于其體積龐大、臭氧濃度低、成本高等問題一直沒有在實(shí)際應(yīng)用中推廣。

    人工生成臭氧的主要方法主要有：電化學(xué)法、光化學(xué)法及電暈放電法等幾種。

電化學(xué)法

    電化學(xué)法是利用直流電源電解含氧電解質(zhì)產(chǎn)生臭氧的方法。電解法生成臭氧具有抽樣濃度高、成分純凈、在水中溶解度高的有時(shí)，在醫(yī)療、食品加工、養(yǎng)殖業(yè)及家庭應(yīng)用等方面具有廣泛前景。但電解法生成臭氧的成本比較高。
光化學(xué)法

    光化學(xué)法實(shí)質(zhì)是仿效大氣層上空紫外線促使氧分子分解并聚合成臭氧的方法，即用人工產(chǎn)生的紫外線促使氧分子分解并聚合成臭氧的方法。此種方法產(chǎn)生臭氧的優(yōu)點(diǎn)是對溫度、濕度不敏感，具有很好的重復(fù)性；同時(shí)，可以通過燈功率線型控制臭氧濃度、產(chǎn)量。缺點(diǎn)是臭氧產(chǎn)量低，不適合大規(guī)模使用。

電暈放電法

    電暈放電法就是在常壓下使含氧氣體在交變高壓電場作用下產(chǎn)生電暈放電生成臭氧的過程。電暈放電法臭氧發(fā)生器是相對能耗較低、單機(jī)臭氧產(chǎn)量最大、市場占有率最高、應(yīng)用最廣的臭氧發(fā)生裝置。電暈放電法分為平板式、玻璃管式、滑輪式三種。平板式按介電體分為玻璃管式、陶瓷表面式；按電極形式可分為網(wǎng)狀電極式和管狀電極式。下面以平板式為例說明工作原理。

    在兩平行面板之間加上交變的高壓電源，兩電極之間防止玻璃或陶瓷等介電體，當(dāng)交變高壓電作用于兩極時(shí)，極板間將發(fā)生放電現(xiàn)象，此時(shí)放電空間流動的氧氣在放電作用下發(fā)生分解反應(yīng)，出現(xiàn)游離的氧原子，氧原子再與氧氣反應(yīng)生成臭氧。這種平板式臭氧發(fā)生器具有結(jié)構(gòu)簡單、可維護(hù)性好且性能良好，具備小型化條件，一般小型家用機(jī)均采用這種方式。