由于一般液氬汽化后未經(jīng)過純化處理，它的氧含量一般在2ppm~5ppm。有時(shí)氣體供應(yīng)商提供的氬氣超過了此范圍，但使用氬氣的客戶確不知道其質(zhì)量，所以往往給生產(chǎn)產(chǎn)品質(zhì)量造成影響。有了氬氣純化裝置后不論氬原料氣的質(zhì)量如何，只要經(jīng)過純化裝置的處理后，進(jìn)入拉晶爐的氬氣，純度始終是恒定的。一般 O2＜1ppm,水分＜2ppm，這樣穩(wěn)定的氬氣對生產(chǎn)晶體質(zhì)量是有保證的。

全自動(dòng)氬氣凈化系統(tǒng)新型氬氣純化裝置作為新材料或其他惰性保護(hù)性氣體，我們推薦使用直接脫氧法（以純氣中殘留氧，水，總碳，粉塵顆粒為考核指標(biāo)）

全自動(dòng)氬氣凈化系統(tǒng)新型氬氣純化裝置本裝置優(yōu)點(diǎn)：

1，設(shè)備操作形式全自動(dòng)程序控制，人性化設(shè)置一鍵式手動(dòng)再生按鈕，可視純氣質(zhì)量控制再生時(shí)間，避免無謂再生，杜絕浪費(fèi)

2，本設(shè)備全新技改，采用內(nèi)置加熱模式，棄舍了原有設(shè)備臃腫的外形及大能耗，使其更節(jié)能，外形精巧，與同類產(chǎn)品對比，節(jié)能50%以上，更具經(jīng)濟(jì)性

3，采用新型工藝 采用錳系脫氧劑常溫工作，使其成品氣質(zhì)量更優(yōu)。耗材利用率明顯提高，使其更換時(shí)間延至8年左右，減少支出，節(jié)能減負(fù)

4，本裝置具有原位再生功能，取微量純氣成品氣配以高純氫氣再生，無需任何外接氣源或輔助氣源

5，設(shè)備在出廠前已完成活化工藝，長時(shí)間運(yùn)行無需檢修，在電，氣，水正常狀態(tài)下，設(shè)備全智能化程序運(yùn)行，無需值守，

6，智能化：系統(tǒng)運(yùn)行時(shí)間，故障報(bào)警，異常報(bào)警，運(yùn)行軌跡等數(shù)據(jù)采集集成顯示于面板觸摸屏，氣體純度分析儀嵌入式安裝于設(shè)備正面，直觀，安全，PLC具備485信號源或模擬信號輸出，聯(lián)機(jī)可完成遠(yuǎn)程控制

7，控制閥門選自德國寶德，1000萬次的開啟壽命，無限使用零維護(hù)

8，汽化器后設(shè)置雙回路減壓系統(tǒng)，工作壓力始終如一，安全穩(wěn)定

全自動(dòng)氬氣凈化系統(tǒng)新型氬氣純化裝置自動(dòng)氬氣純化設(shè)備概述

A, 本方案按用戶提供參數(shù)定制：

 1、組成簡介

 純化設(shè)備工藝由高效脫氧劑、進(jìn)口分子篩、精密過濾器、再生冷卻器、汽水分離器等組成。

 設(shè)備運(yùn)行由PLC控制電磁閥、氣動(dòng)閥、變送器等低壓電器運(yùn)行。所有電器均選用知名品牌，并加有出口低壓旁路報(bào)警，保證供氣點(diǎn)無間斷工作。

2，工作原理簡介

   原料普通氬氣由設(shè)備工作進(jìn)口閥、流量計(jì)進(jìn)入設(shè)備工作組，工作組利用高效脫氧劑、分子篩、精密過、濾器對原料氬氣中的微量氧、水汽、塵埃、二氧化碳、甲烷、等雜質(zhì)進(jìn)行反應(yīng)、吸附、過濾達(dá)到純化氬氣的目的。設(shè)備設(shè)有兩組工作組，一用一備。當(dāng)一組工作負(fù)荷飽和后切換到另一組工作，處理飽和一組的工作組。這樣就可以連續(xù)的輸出純凈的氣體供工作點(diǎn)使用。

3，全自動(dòng)氬氣凈化系統(tǒng)新型氬氣純化裝置再生簡介

設(shè)備工作脫氧塔與干燥吸附塔所裝耗材不是短暫的消耗品（吸附飽和后程序自動(dòng)或手動(dòng)切換再生，可以反復(fù)激活再生一千次以上），所以設(shè)備工作方式采用復(fù)流程，由兩組工作組組成。當(dāng)一組工作組填裝料吸附飽和，裝填料已經(jīng)無法對原料氬氣進(jìn)行提純時(shí)，就需要對它進(jìn)行處理，我們把這個(gè)處理的過程稱做再生。再生過程是在對工作組加溫、吹掃、加氫、冷卻、保壓的過程，并且是在常壓下完成的。由于工作點(diǎn)是不間斷的使用高純氬氣，所以在設(shè)備再生的時(shí)候切換至另一組工作組工作。此過程可以自動(dòng)或在手動(dòng)切換

 B、主要技術(shù)指標(biāo)  

1． 處理氣量                       ≥200Nm3/h                 

2． 工作壓力                       ≤0.8Mpa                 

3． 原氬純度                       ＞99.99% （氧含量≤15ppm）                          

4． 純化后指標(biāo) 純化后符合并高于《GBT4842-2006氬標(biāo)準(zhǔn)》中高純氬的要求           

                              氧氣  ≤0.5ppm                 

                              露點(diǎn) ≤-76℃  

                              總碳 ≤0.5ppm 

                              塵埃 ≤3.5顆/升  粒徑≤0.1μm（100級）

5． 除氧器工作溫度                   常溫                    

6． 除氧器再生溫度                   350℃                   

7． 干燥器工作溫度                   常溫                    

8． 干燥器再生溫度                   350℃                                     

9． 除氧器和干燥器工作周期           據(jù)原料氣純度而定                   

10．除氧器和干燥器再生加熱時(shí)間       8h                       

11．裝機(jī)功率                         28KW                    

12．電源                             380V 50HZ                     

13．設(shè)備重量                         約1200Kg                 

14．外形尺寸：寬×長×高mm          1500×2000×2200      

 C,自動(dòng)氬氣純化裝置概述

     氬氣純化裝置是針對需要使用超高純度氬氣的客戶而設(shè)計(jì)的。全自動(dòng)氬氣純化裝置，具有觸摸面板一鍵式啟動(dòng)、停止工作，操作簡單明了。裝置工作設(shè)有兩組工作組，交替工作，循環(huán)使用。其中一組工作，另一組再生冷卻備用。工作組工作無需加熱，為常溫工作。對應(yīng)面板觸摸屏可查看設(shè)備組成硬件、操作簡介、觀察、監(jiān)視工作組工作狀態(tài)、再生組再生狀態(tài)、工作組工作時(shí)間、切換時(shí)間、設(shè)備總工作時(shí)間、再生加氫及加熱時(shí)間和報(bào)警信息狀態(tài)。

裝置工作為常溫工作，壓降小、脫氧程度深、碳水含量低，均可達(dá)到并高于GB高純氬氣標(biāo)準(zhǔn)。

D,自動(dòng)氬氣純化裝置優(yōu)點(diǎn)

選材優(yōu)良，氬氣流經(jīng)閥門，管道選用304材質(zhì),徹底解決氣源重復(fù)污染，純氣流經(jīng)    管路采用BA級，保證純氣的潔凈如一。

嚴(yán)格的質(zhì)量控制，在制作過程中，邀請需方作全過程跟蹤督察。

進(jìn)出口微氧分析儀在線監(jiān)測，直觀顯示原料氣體氧含量及純化后的氧氣含量。

純氣最終過濾系統(tǒng)100級精密鎳管過濾器使其最終純氣顆粒小于0.1μ

加氫還原系統(tǒng)采用質(zhì)量流量計(jì)控制，真正做到定時(shí)定量全自動(dòng)運(yùn)行。

一鍵式啟動(dòng)設(shè)備，工作狀態(tài)實(shí)時(shí)顯示，操作簡單、安全、明了。