探針冷熱臺-190～600℃
一、儀器介紹：
探針冷熱臺是一款針對材料研究過程中變溫電學(xué)測試而設(shè)計的產(chǎn)品，可表征材料升溫和降溫階段，其電學(xué)性能隨溫度變化的特征。
該產(chǎn)品采用液氮致冷、電阻加熱的方式，實現(xiàn)樣品臺-190~600℃范圍內(nèi)精準(zhǔn)控制，可與顯微鏡、電學(xué)儀表（如源表、萬用表等）等搭配集成，進行變溫原位測試。
二、儀器主要技術(shù)參數(shù)：
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型號
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CH600-190-P4m
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CH600-190-P4
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CH600-190-P2ED
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溫控模塊
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冷熱方式
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液氮致冷，電阻加熱
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溫控范圍
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-190～600℃ *
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溫度穩(wěn)定性
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±0.1℃ *
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溫度分辨率
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0.1℃
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升降溫速率
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0~50℃/min（可定點 / 程序段控溫）
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溫控方式
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PID
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溫度傳感器
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PT100
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光學(xué)特性
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光路
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反射光路 *可升級為透射光路
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視窗材質(zhì)
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石英玻璃 *
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視窗尺寸
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Φ25mm *
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物鏡工作距離
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8mm *
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10mm *
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12.5mm *
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透光孔
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默認(rèn)無透光孔 *可升級透光孔
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視窗除霜
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負(fù)溫下吹氣除霜
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電學(xué)特性
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探針
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磁吸式探針x4（鎢鋼鍍金），手動定位 *
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固定式探針x4，手動定位 *
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電控位移探針x2 *
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探針接口
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BNC接口x4 *
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樣品臺面電位
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默認(rèn)電懸空 *可選電接地
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結(jié)構(gòu)特性
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樣品臺尺寸
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23×23mm *
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樣品臺材質(zhì)
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銀質(zhì) *
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外形尺寸
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120×100×30mm *
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160×150×30mm *
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110×170×45mm *
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樣品腔高度
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7mm *
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8.5mm *
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10.5mm *
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XYZ位移行程
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±6mm
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探針位移精度
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5nm
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腔室
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氣密 *可升級真空
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外殼冷卻
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循環(huán)水
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基本配置
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微型探針冷熱臺x1、溫度控制器x1、致冷控制器x1（低溫配置）、液氮罐x1（低溫配置）、溫控軟件x1、連接管路若干
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探針冷熱臺x1、溫度控制器x1、致冷控制器x1（低溫配置）、液氮罐x1（低溫配置）、溫控軟件x1、連接管路若干
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電控探針冷熱臺x1、溫度控制器x1、致冷控制器x1（低溫配置）、液氮罐x1（低溫配置）、溫控軟件x1、循環(huán)水系統(tǒng)x1（高溫配置）、連接管路若干
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其他配置
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電腦主機/安裝支架/真空系統(tǒng)/三同軸BNC/循環(huán)水系統(tǒng)/定制溫控軟件
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