無塵車間標(biāo)準(zhǔn)所使用的粒徑的測量單位是微米，1微米等于百萬分之一米。

    無塵車間的級別是按其空氣潔凈度劃分的，美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)準(zhǔn)209A至D的無塵車間分級最容易理解，但該等級正被最新版本E所取代，后來又被ISO-14644-1所取代，盡管如此，老版本仍被廣泛采用，在聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)的老版本中（A至D），大于等于0.5um粒子的數(shù)量是按每立方英尺空氣計數(shù)的，并以此計算和劃分無塵車間的等級，而最新的聯(lián)邦209E標(biāo)準(zhǔn)采用了公制，到1999年，頒布了ISO 14644-1，該標(biāo)準(zhǔn)已經(jīng)被歐洲所有國家采用，并逐淅為世界其他國家所采用。

應(yīng)當(dāng)注意的是，無塵車間的ISO 14644-1級別與聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209的級別可以轉(zhuǎn)換，如果ISO標(biāo)準(zhǔn)的每立方米粒子濃度被35.2除，就轉(zhuǎn)換成每立方英尺的粒子計數(shù)。

    ISO 14644-1規(guī)定的占用狀態(tài)如下：

    “空態(tài)”：無塵車間所有設(shè)施要安裝完畢并在工作，但無生產(chǎn)設(shè)備，材料或人員在場。

    “靜態(tài)”：無塵車間所有設(shè)施在運行，生產(chǎn)設(shè)備安裝完畢并以供需雙方同意的方式運行，但無人員在場。

    “動態(tài)”：設(shè)施、設(shè)備以規(guī)定的方式運行，有規(guī)定數(shù)量的人員按事先同意的方式在工作。

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