什么是硅烷氣體：
硅烷即硅與氫的化合物，是一系列化合物的總稱，包括甲硅烷( SiH4) 、乙硅烷( Si2H6) 和一些的硅氫化合物。目前應(yīng)用多的是甲硅烷。一般把甲硅烷簡稱做硅烷。
硅烷作為一種提供硅組分的氣體源，可用于制造高純度多晶硅、單晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、異質(zhì)硅、各種金屬硅化物。 因其高純度和能實(shí)現(xiàn)精細(xì)控制，已成為許多其他硅源無法取代的重要特種氣體。硅烷廣泛應(yīng)用于微電子、光電子工業(yè)， 用于制造太陽電池、平板顯示器、玻璃和鋼鐵鍍層， 并且是迄今世界上大規(guī)模生產(chǎn)粒狀高純度硅的中間產(chǎn)物。硅烷的高科技應(yīng)用還在不斷出現(xiàn), 包括用于制造陶瓷、復(fù)合材料、功能材料、生物材料、高能材料等等，成為許多新技術(shù)、新材料、新器件的基礎(chǔ)。硅烷又以它的自燃、爆炸性而著稱。硅烷有非常寬的自發(fā)著火范圍和的燃燒能量，決定了它是一種高危險(xiǎn)性的氣體。
半導(dǎo)體廠房硅烷氣體泄漏檢測主要特點(diǎn)：
★速核系統(tǒng)：采用高精度32位高速微處理器，Epsion數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)，速測危害氣體，高效預(yù)警毒氣泄漏；
★多級(jí)標(biāo)定：業(yè)內(nèi)智能化多級(jí)校準(zhǔn)技術(shù)，多重濾波技術(shù)，更精準(zhǔn)更快速地反饋現(xiàn)場濃度值；
★自動(dòng)標(biāo)定：通入實(shí)際標(biāo)氣，無需標(biāo)定員操作，智能識(shí)別標(biāo)定；
★穩(wěn)定性：經(jīng)過嚴(yán)格的進(jìn)料篩選工序，及行業(yè)經(jīng)驗(yàn)十幾年的研發(fā)人員匠心打造，抗EMC、EMI干擾，大幅度提高的可靠性；
★多結(jié)構(gòu)的通訊方式：支持4-20mA與RS485單路或多路同時(shí)通訊，有線與內(nèi)置無線433M/GPRS等無線多路通訊（選配）；
★規(guī)范標(biāo)準(zhǔn)：JJF 1363-2012，JJF 1368-2012，JJF 1421-2013，JJF 1364-2012；GB3836-2010，GB 12476.5-2013。
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半導(dǎo)體廠房硅烷氣體泄漏檢測技術(shù)規(guī)格參數(shù)及氣體種類：
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檢量程測氣體
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硅烷
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量程
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0-10PPM/0-50PPM/0-20PPM
（更多量程可以咨詢）
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分辨率
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0.01PPM
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檢測原理
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電化學(xué)原理/光離子原理
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精度
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≤±3F.S
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顯示方式
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320*240高清彩屏
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響應(yīng)時(shí)間
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T90＜30S
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恢復(fù)時(shí)間
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≤30S（T90-T10)
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使用壽命
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傳感器2-3年
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檢測方式
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擴(kuò)散式
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重復(fù)性
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≤±1%F.S
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繼電器
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容量 220VAC /24VDC
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無線輸出
（選配）
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433M（≤無障礙3公里 ）（定制）
GPRS（無距離限制）（定制）
WIFI/zigbee/LORA（定制）
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有線輸出
（選配）
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485+開關(guān)量輸出 （標(biāo)配）
4-20mA+RS485+開關(guān)量報(bào)警輸出 （定制）
以上任選一種
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防護(hù)等級(jí)
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IP66
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防爆等級(jí)
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隔爆型：ExdⅡCT6 Gb
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尺寸
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205*140*92mm(L×W×H)
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探頭材質(zhì)
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鋁合金、不銹鋼（可選）
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安裝方式
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壁掛式、桿裝式、管道式
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重量
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1KG
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工作電壓
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12-35VDC，常用12VDC、24VDC
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電氣接口
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接線口尺寸：內(nèi)螺牙 M20*1.5（ G1/2內(nèi)螺牙、G3/4內(nèi)螺牙、 1/2NPT
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標(biāo)準(zhǔn)配件
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探測器、說明書、紅外遙控器、廠家出廠檢測報(bào)告
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選配件
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防爆聲光報(bào)警、安裝支架、管道式安裝配件等
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工作環(huán)境
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溫度：催化燃燒：-40~+70℃；電化學(xué)：-20~+50℃；PID：-20~+50℃；紅外：-20~+50℃
熒光法：-20~+50℃； 氧化鋯：-40℃~+700℃
壓力：86-110Kpa；（氧化鋯：≤0.6Mpa)
濕度：15%RH~95%RH（無凝露）
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產(chǎn)品功耗
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電化學(xué)傳感器：P≤1.2W 紅外傳感器：P≤2.0W
普通催化傳感器：P≤2.6W 低功耗催化傳感器：P≤1.5W 熱導(dǎo)傳感器：P≤2.0W
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執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)
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GB15311.1-2003；GB3836.1-2010；GB3836.2-2010；GB3836.4-2010
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