在切割、研磨、劃片、化學(xué)研磨平坦化等工藝后的清洗過程中，都會產(chǎn)生研磨廢水，研磨廢水中含有少量的研磨膏、被研磨下來的微小顆粒以及清洗劑，如果直排對環(huán)境會產(chǎn)生極大的危害。

常見的研磨廢水處理一般采用物理化學(xué)沉淀+過濾相合的處理工藝，帶有增強(qiáng)沉淀池的高效物化沉淀技術(shù)——高效沉淀池去除主要污染物，選用重力式濾池進(jìn)一步去除SS和有機(jī)物，污泥由高效沉淀池排出后通過板框壓濾機(jī)進(jìn)行脫水處理。

主要工藝工藝特點(diǎn)：(1)高效沉淀池。高效沉淀池池體由機(jī)械攪拌混合區(qū)、絮凝反應(yīng)區(qū)、推流反應(yīng)區(qū)、沉淀濃縮區(qū)和后混合區(qū)五部分組成。其是依托污泥混凝、循環(huán)、斜管分離及濃縮等多種理論，通過合理的水力和結(jié)構(gòu)設(shè)計，開發(fā)出的集泥水分離與污泥濃縮功能于一體的新一代沉淀工藝。

經(jīng)過混凝后的原水進(jìn)入兩個絮凝反應(yīng)池，絮凝反應(yīng)區(qū)是高效沉淀池的獨(dú)特特點(diǎn)之一，其含有一個能量擴(kuò)散室以及一個非混合池室。

第一個室為能量擴(kuò)散室，通過控制能量擴(kuò)散和使用流量可變的水泵，控制污泥回流來優(yōu)化絮凝反應(yīng)。聚合物和回流污泥注入絮凝反應(yīng)池可增強(qiáng)水的絮凝，污泥的回流可充分發(fā)揮其絮凝作用，減少藥劑的投加量，從而節(jié)約運(yùn)行成本。

第二個室為非混合室，產(chǎn)生能夠快速沉淀的較大的、均勻的礬花。沉淀-濃縮池將原水沉淀與污泥濃縮兩個功能集于一體，采用斜管分離器將礬花與水分離，逆向流將水與污泥分離，沉積在池子底部的污泥借助于配有刮泥機(jī)系統(tǒng)的尖樁攪拌器加速濃縮。

(2)重力式濾池。重力式濾池，具有比表面積大，過濾阻力小的優(yōu)點(diǎn)。微小直徑的濾料，極大程度增大了濾料的比表面積和表面自由能，增加了水中的雜質(zhì)和顆粒與濾料的接觸機(jī)會和濾料的吸附能力，從而提高了過濾效率。

研磨廢水在處理過程中一般采用混凝+氣浮+化化處理工藝，根據(jù)排放標(biāo)準(zhǔn)的不同，前端廢水產(chǎn)生的工藝的不同，處理工藝隨之發(fā)生變化。