隔膜閥和波紋管閥主要應(yīng)用于高純、超凈及真空環(huán)境，使用壓力可達3000psi,內(nèi)表面電拋光，閥門操作機構(gòu)有手動操作及氣動驅(qū)動兩種模式。流量系數(shù)(Cv)為0.1至2.2，接口尺寸為1/8英寸至3/4英寸。所有金屬閥門都適用于嚴酷、苛刻的工作環(huán)境。

1-2LE系列緊湊式閥門：該類閥門為＂超凈閥門(UCV)凈常閉統(tǒng)壓力達到預(yù)先設(shè)定的數(shù)值時，閥門才打開。當(dāng)系統(tǒng)＂系列中的緊湊型閥門，有兩種接頭尺寸可供選擇：1/8英寸和1/4英寸。這些閥門適用于要求占用空間最小的使用場合，有大量針對各種流體的閥座材料可供用戶任意選擇。

2-2LM系列流量控制閥門：該類閥門為＂超凈閥門(UCV)凈常閉統(tǒng)壓力達到預(yù)先設(shè)定的數(shù)值時，閥門才打開。當(dāng)系統(tǒng)＂系列中的緊湊型閥門，有兩種接頭尺寸可供選擇：1/8英寸和1/4英寸。每個閥門都配置一個帶有游標刻度的手柄比鎖固定螺絲。由于此類閥門的作用是進行流量控制，即使手柄處于游標刻度的0刻度線位置，其閥座也不是全關(guān)閉的。手柄的流量控制范圍比較大，有六圈半的手柄調(diào)節(jié)范圍。

3-2LD系列標準閥門：該類閥門為＂超凈閥門(UCV)凈常閉統(tǒng)壓力達到預(yù)先設(shè)定的數(shù)值時，閥門才打開。當(dāng)系統(tǒng)＂系列中的緊湊型閥門，有三種接頭尺寸可供選擇：1/4英寸、3/8和1/2英寸。此類閥門能夠在較大的流量速率范圍內(nèi)正常工作，流量速率范圍從最小值一直延伸到最高100公升/分鐘(氮氣，即N2)。閥座的結(jié)構(gòu)具有極佳的耐泄漏性能，能夠保證極高的可靠性。

4-EV系列低壓閥門：EV系列閥門為＂超凈閥門(UCV)凈常閉統(tǒng)壓力達到預(yù)先設(shè)定的數(shù)值時，閥門才打開。當(dāng)系統(tǒng)＂系列中的一個標準類型，有三種接頭尺寸可供選擇：1/4英寸、3/8和1/2英寸，具有較高的可靠性。此類閥門能夠在較大的流量速率范圍內(nèi)正常工作，許可工作壓力高達1兆帕，即150磅/平方英寸。

5-2LH系列高壓閥門：該類閥門為＂超凈閥門(UCV)凈常閉統(tǒng)壓力達到預(yù)先設(shè)定的數(shù)值時，閥門才打開。當(dāng)系統(tǒng)＂系列中的高壓標準型，有兩種接頭尺寸可供選擇：1/8英寸和1/4英寸。該閥門可在高壓流體管道系統(tǒng)中執(zhí)行＂截斷凈常閉統(tǒng)壓力達到預(yù)先設(shè)定的數(shù)值時，閥門才打開。當(dāng)系統(tǒng)＂操作，許可的工作壓力高達16兆帕，即2300磅/平方英寸。該系列閥門的特點是配備有一個結(jié)構(gòu)緊湊的微型驅(qū)動器，閥座結(jié)構(gòu)的性能非常可靠，體積小，占用的空間最小。針對各種流體的特性，有大量閥座材料可供任意選擇。

6-2LS系列高壓大流量閥門：該類閥門為＂超凈閥門(UCV)凈常閉統(tǒng)壓力達到預(yù)先設(shè)定的數(shù)值時，閥門才打開。當(dāng)系統(tǒng)＂系列中的高壓大流量型，有兩種接頭尺寸可供選擇：1/8英寸和1/4英寸。該閥門可在高壓流體管道系統(tǒng)中執(zhí)行＂截斷凈常閉統(tǒng)壓力達到預(yù)先設(shè)定的數(shù)值時，閥門才打開。當(dāng)系統(tǒng)＂操作，許可的工作壓力高達16兆帕，即2300磅/平方英寸。針對各種流體的特性，有大量閥座材料可供任意選擇。由于結(jié)構(gòu)緊湊，體積小，在高壓大流量的管道系統(tǒng)中，此類閥門能夠靈活自如地正常工作。

7-3LE系列緊湊式金屬座閥門：該類閥門為＂超凈閥門(UCV)凈常閉統(tǒng)壓力達到預(yù)先設(shè)定的數(shù)值時，閥門才打開。當(dāng)系統(tǒng)＂系列緊湊型閥門中的最高等級閥門，堪稱金屬隔膜操作式閥門的終極產(chǎn)品，其氣體接觸面完全沒有樹脂材料。由于閥門的內(nèi)部體積已經(jīng)最小化，使得這些型號的閥門成為流體源輸送系統(tǒng)的最佳選擇。在氣體或液體系統(tǒng)中，它能夠進行高速的流體更換，執(zhí)行器結(jié)構(gòu)緊湊，體積小，能夠節(jié)省占用的空間。產(chǎn)品采用客戶化設(shè)計，能夠滿足客戶的各種特殊要求。

8-HM系列低壓金屬隔膜式閥門：HM系列閥門食用于低壓和高壓流體系統(tǒng)，該系列閥門有多種端口配置形式(兩端口、L型端口、三端口、四端口)。此類閥門可以采用手動操作模式，也可以采用氣動操作模式。每個閥門的裝配都單獨進行，并進行壓力測試、性能測試及氦氣泄漏測試等。

9-VG4-6FV系列真空發(fā)生器：該系列真空發(fā)生器的主要用途是真空排氣，適用于氣瓶柜內(nèi)的工藝過程氣體管線，它可達到的真空壓力是低于-93.3千帕(60托),真空氣體通道采用了拉瓦爾噴嘴結(jié)構(gòu)(前級抽氣)。