Kanomax 超小型粒子計(jì)數(shù)器3950
顛覆性的技術(shù)革新，致輕、致小，完美實(shí)現(xiàn)了嵌入組裝在半導(dǎo)體制造等裝置中
2.83L/min，同時(shí)測(cè)試0.1、0.3μm微小粒子
4.3英寸彩色觸摸屏顯示屏
可使用附帶軟件在PC上顯示測(cè)試數(shù)據(jù)
設(shè)有RS-485、Ethernet、USB通訊接口
|
品 名
|
塵埃粒子計(jì)數(shù)器
|
|
型 號(hào)
|
3950
|
|
粒子測(cè)量
|
測(cè)試方法
|
光散射法
|
|
粒徑通道
|
2粒徑（0.1、0.3μm）
|
|
額定流量
|
0.1CFM（2.83L/分）、精度±5%、（符合JIS B9921和ISO21501-4)
|
|
測(cè)量時(shí)間
|
6秒~99分59秒（1次測(cè)量時(shí)間）
|
|
間隔時(shí)間
|
6秒~99分59秒（測(cè)量周期）
|
|
采樣次數(shù)
|
1~999次 或 連續(xù)測(cè)試
|
|
地點(diǎn)設(shè)定
|
99個(gè)地點(diǎn)
|
|
測(cè)量方式
|
重復(fù)、單次、連續(xù)、計(jì)算、ISO , GB*（共6種模式）
|
|
測(cè)量數(shù)據(jù)顯示時(shí)間
|
1~10秒
|
|
測(cè)量數(shù)據(jù)顯示
|
累計(jì)值∑ 差分值△及柱形圖
|
|
最大可測(cè)濃度
|
10,000,000個(gè)/m3
|
|
計(jì)數(shù)效率
|
50±20%（相對(duì)于最小可測(cè)粒徑附近的PSL粒子）
100±10%（相對(duì)于最小可測(cè)粒徑的1.5倍~2倍的PSL粒子）
（符合JIS B9921 和 ISO21501-4）
|
|
偽 計(jì) 數(shù)
|
<1個(gè)/35min
|
|
粒徑分辨率
|
15%以下（相對(duì)0.3μm的PSL粒子）
（符合JIS B9921 和 ISO21501-4）
|
|
氣 源
|
內(nèi)置泵
|
|
顯示器
|
4.3英寸彩色液晶 觸摸屏
|
|
通迅功能
|
本 體
|
USB（Host用于打印機(jī)、USB存儲(chǔ)；Device用于與PC鏈接）
Ethernet、RS485（9600、19200、38400 baud）
|
|
數(shù)據(jù)存儲(chǔ)
|
媒 體
|
內(nèi)存
|
|
數(shù)量、格式
|
最大10,000個(gè)、CSV格式
|
|
顯示語(yǔ)言
|
英文、日語(yǔ)
|
|
電 源
|
AC100~240V
|
|
使用環(huán)境
|
本 體
|
15~35℃、0~85%RH （無(wú)結(jié)露）
|
|
外形尺寸
|
W150 X H163 X D228 mm
|
|
重 量
|
3.4kg
|
Kanomax 超小型粒子計(jì)數(shù)器3950