美國 HVA 三位真空閘閥 21700 系列
HVA 三位真空閘閥 21700 系列適用于刻蝕、 CVD、真空鍍膜和其他需要壓力控制工藝的行業(yè)。HVA 三位真空閘閥與上游質(zhì)量流量控制器一起使用時(shí)，提供異常壓力控制功能，該真空閘閥也適用于從粗真空到高真空的平穩(wěn)過渡。HVA 三位真空閘閥采用兩個(gè)氣動(dòng)電磁閥和一個(gè)空氣壓力調(diào)節(jié)器控制閥門的3種開啟方式：一個(gè)電磁閥控制閥門的完全關(guān)閉和完全開啟，另一個(gè)電磁閥用于控制和調(diào)節(jié)閥門的任意開啟位置。21700 系列三位真空閘閥廣泛應(yīng)用于低溫泵、渦輪分子泵、離子泵及其他對清潔度要求高、低除氣的高真空行業(yè)。
HVA 三位真空閘閥 21700 系列產(chǎn)品特點(diǎn)
1. 機(jī)械預(yù)設(shè)、遙控過渡閥位
2. 三個(gè)位置都有指示器
3. 標(biāo)準(zhǔn)或者定制法蘭
4. 至少一百萬使用周期
5. 任意位置安裝
HVA 三位真空閘閥 21700 系列技術(shù)參數(shù)：
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閥門材質(zhì)：
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閥門主體
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304不銹鋼
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焊接波紋管軸封
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AM-350
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驅(qū)動(dòng)軸和驅(qū)動(dòng)銷
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硬質(zhì)不繡鋼
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閥門密封方式：
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高真空
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氟橡膠
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漏率
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<2×10-9 mbar l/s
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差壓關(guān)閉
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1 bar
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真空：
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壓力范圍
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高真空1x10-9 mbar
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漏率
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< 2x10-9 mbar l/S
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差壓關(guān)閉
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1 bar (任意位置)
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開啟前最大壓力
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≤ 30 mbar
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烘烤溫度（不含電磁閥）：
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閥門主體
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150 °c
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驅(qū)動(dòng)方式
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氣動(dòng) 60 °c
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使用壽命：100,000啟閉次數(shù)
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公稱通徑：DN100-320 mm
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HVA 三位真空閘閥 21700 系列訂貨號及2D,3D展示圖
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DN
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Model
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KF/ISO-F
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ISO-K
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CF-F*
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mm
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inch
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Number
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3 (Bolted)
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6 (Clamped)
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0 or 4 (Conflat)
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100
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4.00
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21712-040_R
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2D
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3D
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2D
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3D
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2D
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3D
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160
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6.00
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21712-060_R
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2D
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3D
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2D
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3D
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2D
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3D
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200
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8.00
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21712-080_R
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2D
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3D
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2D
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3D
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2D
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3D
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250
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10.00
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21712-100_R
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2D
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3D
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-
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2D
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3D
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320
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12.00
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21712-120_R
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2D
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3D
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-
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2D
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3D
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HVA 三位真空閘閥 21700 系列部件圖
美國 HVA 真空閥門-美國最大真空閥門制造商。美國HVA原裝進(jìn)口真空閥門，超過50年的高真空和超高真空閥門設(shè)計(jì)與制造。主營高真空閘閥，高真空角閥廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、鍍膜、激光、科研、工業(yè)等領(lǐng)域。上海伯東是美國HVA 真空閥門在中國地區(qū)唯一指定總代理商。
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上海伯東: 羅女士