干式真空泵 A4X 系列
上海伯東德國 Pfeiffer 干式真空泵 A4X 系列適合半導(dǎo)體、光伏等腐蝕性強(qiáng)的行業(yè)，干式真空泵抽速從 160 到 1,700 m3/h 滿足不同需求，特殊的耐腐蝕工藝設(shè)計(jì)保證干式真空泵 A4X 系列使用壽命大幅提高，有效降低了企業(yè)成本。
干式真空泵 A4X 系列核心優(yōu)勢：
1.耐腐蝕設(shè)計(jì)，使用壽命長
2.通過 Semi S2-0712 和 UL 61010 標(biāo)準(zhǔn)
3.特殊設(shè)計(jì)，避免真空泵發(fā)生爆裂或可冷凝物沉積
4.配置氮?dú)獯祾唛y，耐粉塵
干式真空泵 A4X 系列應(yīng)用：
1.半導(dǎo)體：（蝕刻、PECVD、SACVD、ALD 等）
2.涂料行業(yè)：光伏和 LED
干式真空泵 A4X 系列技術(shù)參數(shù)：
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型號
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A 124 H
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A 604 H
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A 1204 H
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A 204 H
A 204 X
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A 804 H
A 804 X
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A 1504 H
A 1504 X
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A 1804 H
A 1804 X
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抽速 m3/h
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110
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560
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1150
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160
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700
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1200
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1700
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極限真空
(氮?dú)獯祾唛y關(guān)閉) hPa
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2X10-2
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2X10-4
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9X10-4
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5X10-2
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2X10-3
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2X10-3
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2X10-3
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極限真空
(氮?dú)獯祾唛y50 SLM) hPa
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5X10-2
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6X10-3
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6X10-3
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2X10-1
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9X10-3
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9X10-3
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9X10-3
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全轉(zhuǎn)速最大進(jìn)氣氣流 SLM
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80
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60
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55
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150
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100
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100
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70
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最大功率 KW
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1.5
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1.9
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2.3
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1.8
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2.2
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2.6
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2.6
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最大排氣壓力hPa
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1200
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1200
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1200
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1200
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1200
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1200
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1200
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進(jìn)氣口 ISO-KF
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DN 50
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DN 100
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DN 160
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DN 50
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DN 100
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DN 160
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DN 160
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重量 kg
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250
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370
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530
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260
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380
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540
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540
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干式真空泵 A4X 系列抽速：
