干式真空泵 A 100 L-A 200 L
上海伯東銷售維修 Pfeiffer 干式真空泵（多級(jí)羅茨泵）A 100 L-A 200 L，用于潔凈制程的整體式干泵，緊湊設(shè)計(jì)，大抽速，低能耗，滿足半導(dǎo)體行業(yè)機(jī)臺(tái)內(nèi)直接安裝和快速抽空的設(shè)計(jì)要求，是load-lock、傳送腔及其他非腐蝕性工藝的完美解決方案。Pfeiffer 干式真空泵 A 100 L排除了泵安裝中的真空管路影響，通過使用 Pfeiffer 整體式干泵，可降低真空管路安裝、集成和調(diào)試的成本。Pfeiffer 干式真空泵 A 100 L高可靠性和長(zhǎng)期穩(wěn)定性使其脫穎而出，現(xiàn)已廣泛應(yīng)用于全世界范圍內(nèi)的 300 mm 半導(dǎo)體工廠。
干式真空泵 A 100 L-A 200 L平均故障間隔時(shí)間超過 195000 小時(shí)，提供干燥無(wú)塵的潔凈真空，適合在無(wú)塵室中使用，整體式干泵也為太陽(yáng)能光電設(shè)備提供最佳解決方案。低噪音和低振動(dòng)是該水冷型干泵的其他優(yōu)勢(shì)，小巧的體積保證了其在大型機(jī)臺(tái)內(nèi)集成的便利性，是各大設(shè)備廠商首選。
干式真空泵 A 200 L是針對(duì)高氣流量應(yīng)用的全新解決方案，抽速200 m3/h，再次展示出了其在整體式干泵市場(chǎng)中全球領(lǐng)導(dǎo)地位。
上海伯東 Pfeiffer 干式真空泵 A 100 L-A 200 L 主要優(yōu)點(diǎn)
1.高氣流量，大抽速
2.結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小
3.易于集成，運(yùn)行成本低
4.低噪音和低震動(dòng)，無(wú)油無(wú)塵
5.即插即用系統(tǒng)：集成型監(jiān)察裝置
6.干式真空泵 RS232 / RS485 接口可選
Pfeiffer 干式真空泵 A 100 L-A 200 L 應(yīng)用行業(yè)
1.Load-lock 和傳送腔
2.半導(dǎo)體生產(chǎn)
3.光伏
4.工業(yè)（低溫，氣體制造，激光源）
5.分析儀（用于電子顯微術(shù)或表面分析的閘室）
伯東Pfeiffer 干式真空泵 A 100 L-A 200 L 技術(shù)參數(shù)
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型號(hào)
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進(jìn)氣口尺寸 DN
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極限壓力 hPa
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抽速
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噪音比
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重量
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m3/h
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dB (A)
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kg
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A 100 L
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50
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6.6 X 10-3
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100
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58
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100
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A 100L ES
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50
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7 X 10-4
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100
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55
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100
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A 200 L
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50
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8 X 10-3
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200
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58
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100
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L:標(biāo)準(zhǔn)版本 ES:節(jié)能版本
干式真空泵 A 100 L 標(biāo)準(zhǔn)版本
冷卻水循環(huán)，在前端配置運(yùn)行時(shí)間記錄儀和三色 LED 指示燈時(shí)時(shí)顯示泵當(dāng)前狀態(tài)。
主要在售型號(hào)：
A 100 L 標(biāo)準(zhǔn)版本，低電壓，16 針 I/O
A 100 L 標(biāo)準(zhǔn)版本，低電壓，19 針 I/O
A 100 L 標(biāo)準(zhǔn)版本，低電壓，RS232/485 接口，16 針 I/O
A 100 L 標(biāo)準(zhǔn)版本，低電壓，RS232/485 接口，19 針 I/O
A 100 L 標(biāo)準(zhǔn)版本，高電壓，16 針 I/O
A 100 L 標(biāo)準(zhǔn)版本，高電壓，19 針 I/O
A 100 L 標(biāo)準(zhǔn)版本，高電壓，RS232/485 接口，16 針 I/O
A 100 L 標(biāo)準(zhǔn)版本，高電壓，RS232/485 接口，19 針 I/O
A 100 L ES 節(jié)能版本
緊湊型干泵集成節(jié)能模塊，有效減少了 50% 的耗電量。冷卻水循環(huán)，在前端配置運(yùn)行時(shí)間記錄儀和三色 LED 指示燈時(shí)時(shí)顯示泵當(dāng)前狀態(tài)。
主要在售型號(hào)：
A 100 L ES 節(jié)能版本，低電壓，16 針 I/O
A 100 L ES 節(jié)能版本，低電壓，19 針 I/O
A 100 L ES 節(jié)能版本，低電壓，RS232/485 接口，16 針 I/O
A 100 L ES 節(jié)能版本，低電壓，RS232/485 接口，19 針 I/O
Pfeiffer 干式真空泵 A 100 L-A 200 L 抽速圖
Pfeiffer 干式真空泵 ACP:上海伯東真空產(chǎn)品事業(yè)部是德國(guó) Pfeiffer 指定銷售維修中心，我司是國(guó)內(nèi)最早代理 Pfeiffer 產(chǎn)品的公司，100% 原裝進(jìn)口并提供 Pfeiffer 全系列真空產(chǎn)品的售后維修服務(wù)。