催化燃燒技術(shù)通過在燃燒系統(tǒng)中添加催化劑，使可燃性的 VOCs在催化劑表面發(fā)生非均相氧化反應(yīng)，于250～400℃左右將VOCs催化氧化分解為CO2和H2O等。催化燃燒較熱力焚燒溫度低，可以顯著降低設(shè)備運(yùn)行費(fèi)用，但當(dāng)廢氣中含有能夠引起催化劑中毒的硫、鹵素有機(jī)化合物時(shí)，不宜采用催化燃燒法。
無論是熱力焚燒法還是催化燃燒法都需要將廢氣加熱到相應(yīng)的燃燒溫度。如果廢氣中有機(jī)物的濃度較高，廢氣燃燒后所產(chǎn)生的熱量可以維持有機(jī)物分解所需要的反應(yīng)溫度，采用燃燒法是一種經(jīng)濟(jì)可行的方法。傳統(tǒng)的催化燃燒技術(shù)和高溫焚燒技術(shù)由于換熱效率低，當(dāng)廢氣中有機(jī)物濃度較低時(shí)，需要大量能耗，治理設(shè)備運(yùn)行費(fèi)用高。為了提高熱利用效率，降低設(shè)備的運(yùn)行費(fèi)用，近年來發(fā)展了蓄熱式熱力焚燒技術(shù)（RTO）和蓄熱式催化燃燒技術(shù)（RCO）。蓄熱系統(tǒng)是使用具有高熱容量的陶瓷蓄熱體，采用直接換熱的方法將燃燒尾氣的熱量蓄積在蓄熱體中，高溫蓄熱體直接加熱待處理廢氣，換熱效率可達(dá)到90%以上，而傳統(tǒng)的間接換熱器的換熱效率一般在50%~70%。蓄熱式（催化）燃燒技術(shù)的發(fā)展大大拓寬了催化燃燒技術(shù)和高溫焚燒技術(shù)的應(yīng)用范圍，可以在較低VOCs濃度下使用，近年來得到了廣泛應(yīng)用，并逐步替代了傳統(tǒng)的（催化）燃燒技術(shù)（特別是低濃度范圍的VOCs廢氣治理）