臭氧滅菌為溶菌級(jí)方法，殺菌徹底，無殘留，殺菌廣譜，可殺滅細(xì)菌繁殖體和芽孢、病毒、真菌等，并可破壞肉毒桿菌毒素。另外，O3對(duì)霉菌都有殺滅作用。O3由于穩(wěn)定性差，很快會(huì)自行分解為氧氣或單個(gè)氧原子，而單個(gè)氧原子能自行結(jié)合成氧分子，不存在任何有毒殘留物，所以，O3是一種無污染的消毒劑。O3為氣體，能迅速?gòu)浡秸麄€(gè)滅菌空間，滅菌無死角。而傳統(tǒng)的滅菌消毒方法，無論是紫外線，還是化學(xué)熏蒸法，都有不徹底、有死角、工作量大、有殘留污染或有異味等缺點(diǎn)，并有可能損害人體健康。如用紫外線消毒，在光線照射不到的地方?jīng)]有效果，有衰退、穿透力弱、使用壽命不長(zhǎng)等缺點(diǎn)?；瘜W(xué)熏蒸法也存在不足之處，如對(duì)抗藥性很強(qiáng)的細(xì)菌和病毒，則殺菌效果不明顯。
活性氧(臭氧)滅菌消毒作用體現(xiàn)在它的強(qiáng)氧化性上，是全球公認(rèn)的綠色廣譜高效的消毒滅菌劑。廣泛用于飲用水消毒，醫(yī)療衛(wèi)生機(jī)構(gòu)空氣消毒，臭氧會(huì)在30-40分鐘后自動(dòng)還原成氧氣，沒有化學(xué)殘留二次污染。所應(yīng)用的領(lǐng)域有消毒柜、果蔬解毒機(jī)，婦科治療儀、食品加工、飲用水灌裝消毒設(shè)備等。