1. CCD相機:德國彩色CCD1280*1024像素
2. 鏡頭:4X鏡頭,最新線寬0.5mil
3. 光源:光源自動調(diào)光功能,也可手動調(diào)光
4. 臺面尺寸:1200mm*750mm
5. 線寬測量范:最小12.7um--最大1500um
6. 測量尋邊方式:自動尋邊功能
7. 線寬測量精度:±1μm
8. 測量窗口視野范圍:可測量60mil以內(nèi)的線路
9. 報告生成模式:可根據(jù)客戶廠內(nèi)報表格式做定制的對應(yīng)測量數(shù)據(jù)匯出等