MF5000微型氣體質(zhì)量流量計、熱式質(zhì)量流量計、MEMS氣體流量傳感器
產(chǎn)品簡介：
MF5000微型氣體質(zhì)量流量計采用是（MEMS）流量傳感器芯片技術(shù)和計算機(jī)自適應(yīng)技術(shù)歷經(jīng)多年，開發(fā)出的智能化全電子式氣體質(zhì)量流量儀表，主要技術(shù)性能處于國際領(lǐng)先水平，具有高靈敏度、高精度、大量程比等特點；針對工業(yè)環(huán)境，融合了多種抗干擾措施的電磁兼容設(shè)計；且具有多種信號輸出，能通過通訊接口實現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)管理功能；本產(chǎn)品在性能、安裝和維護(hù)方面也具有其獨特的優(yōu)越性，可廣泛應(yīng)用于石油、燃?xì)?、化工、冶煉、能源等各個領(lǐng)域。
產(chǎn)品特點：
- 采用微機(jī)電系統(tǒng)芯片加工技術(shù)和大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)技術(shù)及材料生長技術(shù)，傳感器的尺寸縮小到了微米量級，使該流量計的靈敏度大大提高。
- 在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成，使該流量計的量程比（范圍度）大大提高。
- 傳感器零點穩(wěn)定度較之傳統(tǒng)熱式質(zhì)量流量計有極大的改善。
- 結(jié)合二次儀表的微電腦智能技術(shù)，使流量計重復(fù)性好，實現(xiàn)了計量準(zhǔn)確可靠。
- 技術(shù)進(jìn)步帶來的結(jié)構(gòu)簡化，使流量計較之傳統(tǒng)的機(jī)械式儀表，壓力損失大幅度減小，極大地降低了能源消耗。
- 采用LCD顯示"瞬時流量"和"累計流量"，清晰直觀，讀數(shù)方便。
- 產(chǎn)品融合了電磁兼容設(shè)計技術(shù)，具有更高抗干擾能力。
- 流量計帶有RS485通訊模塊，配合上位計算機(jī)網(wǎng)絡(luò)可實現(xiàn)集中管理。
- 可以選配4～20mA標(biāo)準(zhǔn)電流信號輸出。
型號 通徑（mm） 接口（inch） L
H W d a b c
MF5003 3 1/8" 85 124 35 Φ3 25 16 50
MF5006 6 1/4" 95 127 35 Φ6 25 18 50
MF5008 8 3/8" 105 134 35 Φ8 25 22 50
MF5012 12 1/2" 116 137 40 Φ12 30 25 50
MF5019 19 3/4" 152 149 40 Φ19 30 40 70
技術(shù)參數(shù)：
精確度 ±(1.5+0.2FS)%
測量范圍 0.01~65m/sec
測量管徑 1~19 mm
使用環(huán)境 溫度: -20~65
顯 示 瞬時流量; 累計流量
輸出模式 4~20mA; RS485; RS232; 0~5V; 脈沖
校準(zhǔn)條件 20oC; 101.325 kPa.
產(chǎn)品選型：
型號通徑(mm)接口(inch)工作壓力(MPa) 測量范圍
sccm SLPM SCFM NCMH
MF5003 3 1/8" 3.0 15-1500 0.15-15
MF5006 6 1/4" 3.0 0.5-50 0.02-2 0.035-3.5
MF5008 8 3/8" 3.0 1.2-120 0.045-4.5 0.075-7.5
MF5012 12 1/2" 3.0 3-300 0.1-10 0.17-17
MF5019 19 3/4" 3.0 8-800 0.28-28 0.48-48