一、概述
    DFC系列氣體質(zhì)量流量控制器/流量計(以下稱DFC/DFM)通過測量層流元件的差壓、壓力、溫度來計算流量，這種測量方式具有固有的線性,重復性好，高精度，無需預熱，溫漂小等特點。本產(chǎn)品可以同時測量4種參數(shù)：氣體的瞬時流量、累計流量、溫度和絕壓，并且可以同時顯示和輸出。
    雖然傳統(tǒng)的熱式原理不需經(jīng)過溫壓補償即可以直接測量氣體的質(zhì)量流量，但是熱式原理產(chǎn)品具有先天性的缺陷：長期加熱的工作模式產(chǎn)生的熱漂移，反應速度慢等缺點是不可避免的，而采用差壓原理的DFC/DFM幾乎無零點和溫度漂移，反應速度快，無需預熱，上電即可操作，解決了長期困擾客戶的問題。
    本產(chǎn)品廣泛應用于各類需精確檢測和控制氣體流量的設(shè)備上。本資料中的DFC系列是根據(jù)市場需求推出的以高精度和多功能為特色的普及型產(chǎn)品。

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流量計算機

 
二、原理及性能
    原理:
      ●傳感器: 溫度、壓力、差壓三支傳感器
      ●響應時間: DFM:10毫秒;  DFC:100毫秒
      ●顯示屏: 標準  內(nèi)置
      ●預熱: 無需預熱
      ●熱漂移: 無
      ●累計流量: 標準內(nèi)置 不限顯示位數(shù)
      ●輸出信號: 質(zhì)量流量、體積流量、溫度、壓力
      ●轉(zhuǎn)換系數(shù): 測量空氣氮氣以外的氣體時，轉(zhuǎn)換系數(shù)準確
      ●氣體測量: 可從內(nèi)置菜單中選擇30種氣體
      ●精度: ±0.8%F.S讀數(shù)，±0.4%F.S可選
      ●長期穩(wěn)定性: ±0.1%F.S/年