FS5001流量傳感器簡介：
FS5001小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設(shè)計的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔、干燥氣體。獨特的封裝技術(shù)使之在相同的管徑下可測量不同范圍的流量，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器并配以多種信號輸出，通過通訊接口可實現(xiàn)對傳感器的靈活配置與參數(shù)查詢。
產(chǎn)品特點：
傳感器靈敏度高，有極小的始動流量
傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計量，無需溫度壓力補償，保證了傳感器的高精度計量
在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成，使其量程比達(dá)到了100:1甚至更高
貼壁式安裝，無直管段要求，易于安裝與使用
輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動上傳數(shù)據(jù)(RS232)或由上位機查詢輸出數(shù)據(jù)(RS232 / I2C)，也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓
零點穩(wěn)定度高
全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性
低功耗、低壓損
響應(yīng)速度快
FS5001流量傳感器參數(shù)：
技術(shù)參數(shù)：
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FS5001
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量程范圍
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0～20,50,200,500,1000,或根據(jù)客戶需求定制
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sccm
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量程比
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>100：1
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精度
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±（1.5±0.2FS）
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%
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重復(fù)性
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±0.75
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%
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零點輸出飄逸
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±30
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mV
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輸出飄逸
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0.16
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%/oc
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響應(yīng)時間
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100（默認(rèn)，50，100，200，500，100設(shè)置）
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ms
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工作電源
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8~18Vdc,50mA
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輸出方式
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RS232,I2C,模擬電壓0.5~4.5Vdc
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最大流量壓損
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900
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Pa
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最大流量壓力
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0.8
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MPa
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工作溫度
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-5~+45
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oC
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存儲溫度
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-20~+55
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oC
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工作濕度
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<95%RH(無結(jié)冰、無凝露)
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機械接口
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M,Rc,NPT,4mm,6mm快速接頭（配轉(zhuǎn)接模塊）
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校準(zhǔn)方式
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空氣（或其他氣體），20oC,101.325kPa
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重量
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17.5
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g
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機械尺寸：