凈化車間內(nèi)墻板和頂棚的裝修應(yīng)符合下列要求:
①凈化車間墻板和頂棚的裝修表面應(yīng)平整、光滑、不起塵、避免眩光、便于除塵等要求,并減少凹凸面。
②踢腳不應(yīng)突出墻面。
③凈化車間內(nèi)不宜采用砌筑墻抹灰墻面,當(dāng)必須采用時宜干燥作業(yè),抹灰采用高級抹灰標(biāo)準(zhǔn)。墻面抹灰后應(yīng)刷涂料面層,并應(yīng)選用難燃、不開裂、耐清洗、表面光滑、不易吸水變質(zhì)發(fā)霉的涂料。無塵車間技術(shù)夾層的墻面和頂棚表面應(yīng)平整、光滑,位于地下的技術(shù)夾層應(yīng)采取防水或防潮、防霉措施。
凈化車間也叫潔凈廠房、潔凈室(Clean Room)、無塵室,是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
凈化車間的定義
凈化車間最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸的大氣的潔凈度以及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為凈化車間。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當(dāng)然這個標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無塵是必然的要求。
每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下,就達(dá)到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)的A級。目前應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對于灰塵的要求高于A級,這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。5μm及以下的微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。
凈化車間的構(gòu)成是由下列各項系統(tǒng)所組成:
(1)彩鋼板天花板系統(tǒng)
(2)空調(diào)系統(tǒng):包括過濾器系統(tǒng)、送風(fēng)及回風(fēng)系統(tǒng)。
(3)彩鋼板隔墻板:包括窗戶、門。
(4)地板:包括高架地板或防靜電PVC地板。
(5)照明器具:包括凈化燈、日光燈、應(yīng)急燈等
凈化參數(shù)
換氣次數(shù):100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次。壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa平均風(fēng)速:10級、100級0.3-0.5m/s;溫度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波動±2℃。
溫度45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。
噪聲≤65dB(A);新風(fēng)補(bǔ)充量是總送風(fēng)量的10%-30%;照度300LX
凈化原理
氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→高效凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌等顆粒 → 回風(fēng)百葉窗→初效凈化 重復(fù)以上過程,即可達(dá)到凈化目的。
更多相關(guān)的東莞無塵車間、東莞無塵車間裝修、無塵車間工程、無塵廠房、潔凈廠房、潔凈車間、凈化工程、無塵室、潔凈室、廠房裝修、工廠裝修、車間裝修,歡迎您來電咨詢!
凈化車間潔凈室及潔凈區(qū)空氣中懸浮粒子潔凈度等級
等數(shù)ISO空氣潔凈
|
大于或等于表中粒徑的最大濃度限值(P/m -空氣)
|
潔凈等級美國聯(lián)邦209E
|
0.1um
|
0.2um
|
0.3um
|
0.5um
|
1um
|
5um
|
ISO Class1
|
10
|
2
|
|
|
|
|
|
ISO Class2
|
100
|
24
|
10
|
4
|
|
|
|
ISO Class3
|
1000
|
237
|
102
|
35
|
8
|
|
1
|
ISO Class4
|
10000
|
2370
|
1020
|
352
|
83
|
|
10
|
ISO Class5
|
100000
|
23700
|
10200
|
3520
|
832
|
29
|
100
|
ISO Class6
|
1000000
|
237000
|
102000
|
35200
|
8320
|
293
|
1000
|
ISO Class7
|
|
|
|
352000
|
83200
|
2930
|
10000
|
ISO Class8
|
|
|
|
3520000
|
832000
|
29300
|
100000
|
ISO Class9
|
|
|
|
35200000
|
8320000
|
293000
|
300000
|