美國(guó)CARTEN高純單向閥
產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
應(yīng)用行業(yè):半導(dǎo)體、太陽能、液晶面板制造等行業(yè),或者其他一些有超高純流體要求的行業(yè).
應(yīng)用環(huán)境:超高純大宗氣體管路分配系統(tǒng)、超高純流體設(shè)備和機(jī)臺(tái)等.
最高工作壓力:真空250PSI
最大CV:0.25
最高工作溫度:121℃
膜片密封和CTFE閥座致使在氦檢的時(shí)候最大泄漏率也只達(dá)到1x
10 scc/s.
內(nèi)側(cè)和閥座旁邊均經(jīng)過了100%氦檢.
經(jīng)過高純處理使其達(dá)到高純標(biāo)準(zhǔn).
連接尺寸:1/2"
3/4" 1" 1.5" 2"
在1級(jí)潔凈廠房吹掃并最終包裝