無塵車間級別
等級
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每立方米(升)空氣中》0.5μm塵粒數(shù)
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每立方米(升)空氣中》5μm塵粒數(shù)
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100
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《35*100 〈3.5〉
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1000
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《35*1000 〈35〉
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《250 〈0.25〉
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10000
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《35*10000 〈350〉
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《2500 〈2.5〉
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100000
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《35*100000 〈3500〉
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《25000 〈25〉
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潔凈要求
(1)清潔潔凈室內的墻時應使用潔凈室無塵布;
(2)用90%去離子水和10%的異丙醇配置清潔劑;
(3)使用已獲批準的潔凈室專用去污劑;
(4)每天都要檢查車間和整備間的垃圾箱,并及時清走。
(5)每塊地板都要吸塵。每次交接班時,都應在地圖上標明工作完成情況,例如在哪結束從哪開始。
(6)清潔潔凈室的地面應使用專用拖把。
(7)在潔凈室里吸塵應使用帶有高效過濾器的專用真空吸塵器。
(8)所有的門都需要檢查并擦干
(9)吸完地以后再擦地。一周擦一次墻面。
(10)架空地板下也要吸塵及擦拭。
(11)三個月擦一次架空地板底下的柱子和支撐柱。
(12)工作時一定要記住,永遠是由上往下擦,從離門最遠的地方向門的方向擦。
無塵室須知
1. 進入無塵室前,必須知會管理人,并通過基本訓練。
2. 進入無塵室嚴禁吸煙,吃(飲)食,外來雜物(如報章,雜志,鉛筆...等)不可攜入,并嚴禁嘻鬧奔跑及團聚談天。
3. 進入無塵室前,需在規(guī)定之處所脫鞋,將鞋置于鞋柜內,外衣置于衣柜內,私人物品置于私人柜內,柜內不可放置食物。
4.進入無塵室須先在更衣室,將口罩,無塵帽,無塵衣以及鞋套按規(guī)定依程序穿戴整齊,再經(jīng)空氣洗塵室洗塵,并踩踏除塵地毯(洗塵室地板上)方得進入。
5. 戴口罩時,應將口罩戴在鼻子之上,以將口鼻孔蓋住為原則,以免呼吸時污染芯片。
6. 穿著無塵衣,無塵帽前應先整理服裝以及頭發(fā),以免著上無塵衣后,不得整理又感不適。
7. 整肅儀容后,先戴無塵帽,無塵帽的穿戴原則系:
(1)頭發(fā)必須完全覆蓋在帽內,不得外露。
(2)無塵帽之下擺要平散于兩肩之上,穿上工作衣后,方不致下擺脫出,裸露肩頸部。
8.無塵帽戴妥后,再著無塵衣,無塵衣應尺吋合宜,才不致有褲管或衣袖太短而裸露皮膚之虞,穿衣時應注意帽之下擺應保平整之狀態(tài),無塵衣不可反穿。
9. 穿著無塵衣后,才著鞋套,拉上鞋套并將鞋套整平,確實蓋在褲管之上。
10. 戴手套時應避免以光手碰觸手套之手掌及指尖處(防止鈉離子污染),戴上手套后,應將手套之手腕置于衣袖內,以隔絕污染源。
11. 無塵衣著妥后,經(jīng)洗塵,并踩踏除塵毯,方得進入無塵室。
12. 不論進入或離開無塵室,須按規(guī)定在更衣室脫無塵衣,不可在其它區(qū)域為之,尤不可在無塵室內邊走邊脫。
13. 無塵衣,鞋套等,應定期清洗,有破損,脫線時,應即換新。
14. 脫下無塵衣時,其順序與穿著時相反。
15. 脫下之無塵衣應吊好,并放于更衣室內上層柜子中;鞋套應放置于吊好的無塵衣下方。
16. 更衣室內小柜中,除了放置無塵衣等規(guī)定物品外,不得放置其它物品。
17. 除規(guī)定紙張及物品外,其它物品一概不得攜入無塵室。
18. 無塵衣等不得攜出無塵室,用畢放置于規(guī)定處所。
19. 口罩與手套可視狀況自行保管或重復使用。
20. 任何東西進入無塵室,必須用灑精擦拭干凈。
21. 任何設備的進入,請知會管理人,在無塵室外擦拭干凈,方可進入。
22. 未通過考核之儀器,禁止使用,若遇緊急情況,得依緊急處理步驟作適當處理,例如關閉水、電、氣體等開關。
23. 無塵室內絕對不可動火,以免發(fā)生意外。