氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller)/氣體質(zhì)量流量計(jì)（Mass Flow Metre)用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制，特別是對(duì)于微小質(zhì)量流量的測量和控制。D600系列數(shù)字型氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器精度高、重復(fù)性好、穩(wěn)定性高、工作壓力范圍寬，廣泛應(yīng)用于能源、電力、化工、醫(yī)療、半導(dǎo)體等各個(gè)領(lǐng)域。
【氣體流量計(jì)產(chǎn)品特點(diǎn)】
◆ 本地高清晰中文液晶顯示；
◆ 適用極低的流量，精確測量各種量程的流量，最低量程0~5 SCCM( 標(biāo)準(zhǔn)毫升/分鐘）；
◆ 數(shù)字、模擬量輸入輸出；
◆ 可連接上位機(jī)軟件控制運(yùn)行；
◆ 極低的零漂和溫漂；
◆ 多氣體、多量程、高精度，響應(yīng)時(shí)間短；
◆ 多種可量程可供選擇：
流量規(guī)格（N2）： (0~5、10、20、30、50、100、200、300、500 )SCCM；
（0~1、2、3、5、10、20、30 、50、100）SLM
【注】
SLM和SCCM都常常是氣體質(zhì)量流量單位。
SLM（Standard Liter per Minute）是表示每分鐘標(biāo)準(zhǔn)升。
SCCM（Standard Cubic Centimeter per Minute）是表示每分鐘標(biāo)準(zhǔn)毫升。
【氣體質(zhì)量流量計(jì)參數(shù)】
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產(chǎn)品名稱
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氣體質(zhì)量流量控制器,氣體質(zhì)量流量計(jì)
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適用介質(zhì)
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潔凈、干燥的氣體（不能含水汽、油）
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量程范圍（N2)
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(0~5、10、20、30、50、100、200、300、500 )SCCM；
（0~1、2、3、5、10、20、30 、50、100）SLM
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公稱壓力
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0～10MPa
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環(huán)境溫度
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5～65℃
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測量精度
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±1.0%
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響應(yīng)時(shí)間
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< 1秒
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殼體材質(zhì)
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不銹鋼；
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供電方式
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外供7～16VDC（帶電源適配器）；
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輸出信號(hào)
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4～20mA；0～5V；RS232/RS485
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差壓范圍
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0.05～0.3MPa；
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表頭顯示
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累積流量；瞬時(shí)流量；工作模式；閥控狀態(tài)
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連接方式
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卡套連接Φ3,Φ6,Φ8,Φ10
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【氣體質(zhì)量流量計(jì)原理】
氣體質(zhì)量流量計(jì)由質(zhì)量流量計(jì)傳感器、分流器通道、流量控制調(diào)節(jié)閥、放大控制電路組成。被測氣體分成兩個(gè)層流區(qū)，一個(gè)通過主流量管道，另一個(gè)通過毛細(xì)管。獨(dú)特的設(shè)計(jì)確保兩個(gè)管路里的流體都是層流狀態(tài)，因此兩個(gè)管路的流量比是恒定的。工作時(shí)，毛細(xì)管上兩個(gè)精確的溫度感應(yīng)繞組被加熱，當(dāng)有流量時(shí)，被加熱的氣體從上游到下游流動(dòng)，在兩個(gè)感應(yīng)繞組之間產(chǎn)生了溫差，溫差與電阻的變化成比例關(guān)系。
用惠斯頓電橋來測量溫度感應(yīng)繞組的溫度變化差值。惠斯頓電橋的輸出通過ADC(模數(shù)轉(zhuǎn)換)轉(zhuǎn)換成12位的數(shù)字信號(hào)。
微處理器和非易失性存儲(chǔ)器存儲(chǔ)了所有的標(biāo)定數(shù)據(jù)，直接控制操作比例電磁閥。這個(gè)數(shù)字閉環(huán)控制系統(tǒng)不斷的比較當(dāng)前的流量值與設(shè)定值，如果與設(shè)定值偏離，通過調(diào)整閥門進(jìn)行修正，PID算法運(yùn)算實(shí)現(xiàn)高精確度的控制。根據(jù)被測氣體的流量大小輸出0…5VDC或者4…20mA信號(hào)。
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