1. 材質(zhì):SS316L不銹鋼結(jié)構(gòu)
2. 品牌:PARKER /FUJIKIN
3. 流量范圍:15~300 SLPM
4. 尺寸:1/4至1/2in.
5. 連接方式:VCR,卡套連接
6. 不銹鋼氣體過濾
7. 超高純直通型氣體過濾器
8. 3納米的粒子過濾能力確保了在最小壓降下高流量
9. 去離子水清洗后,熱氮氣烘干,從而滿足半導(dǎo)體工藝標準
10. 對大部分高純半導(dǎo)體工藝氣體具有優(yōu)良的兼容性
11. 5Ra電解拋光表面防止內(nèi)污染